陽江原裝晶圓運送機械吸臂

年來全球硅晶圓供給不足，導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳氧結合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純，因為半導體材料的電學特性對雜質(zhì)的濃度相當?shù)拿舾?，因而對冶金級硅作進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度達99%，成為電子級硅。通用性強，能適應多種作業(yè)；工藝性好，便于維修調(diào)整。陽江原裝晶圓運送機械吸臂

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布。 陽江原裝晶圓運送機械吸臂機械手臂根據(jù)結構形式的不同分為多關節(jié)機械手臂.

進行光刻：

將設計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。而隨著技術革新，極紫光刻出現(xiàn)了，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。

2．噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上，重復位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃，一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機驅(qū)動。3．焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂，它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負荷大基本介紹當提到機械人時，許多人會想到有手，有腳的人型機械.不過， 這類機械人往往出現(xiàn)在科幻電影，***所，展覽會和玩具店中，它們與工業(yè)用的機械人大不相同. 工業(yè)機械人（Industrial Robots）簡稱為IR，它們大多為簡單的操作設備，有時會被稱為機械臂，例如：進行簡單的提起或放下動作，在機器內(nèi)放入或取出工件等.不過，亦有不少工業(yè)機械人可以完全用程式控制，并可進行不同類型工作，精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè)。

機械臂的工作原理：

一般機構可由電力、液壓、氣動、人力驅(qū)動。機構有螺紋頂緊機構（如臺虎鉗）、斜鍥壓緊、

導桿滑塊機構（破碎機常用）、利用重力的自鎖機構（如抓磚頭的）等等。還有簡單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購買FESTO等公司的氣動手指。

底座是用來安裝和固定機器的。

油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。

升降位置檢測器，要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預定高度位置，要么是實時檢測其高度的。

手臂回轉(zhuǎn)升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。

手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器，只是測量對象換了。

機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。 工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。山東直銷晶圓運送機械吸臂價格便宜

關節(jié)式機械手因其結構復雜。陽江原裝晶圓運送機械吸臂

工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件；進行激光切割；噴涂；裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣，特別是工業(yè)機械臂，與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標準，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復編程、多用途，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。陽江原裝晶圓運送機械吸臂

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