氮化鎵砂輪工藝

來源: 發(fā)布時間:2025-06-21

在半導體制造等精密加工領域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過砂輪高速旋轉,磨粒與工件表面產(chǎn)生強烈摩擦,從而實現(xiàn)材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅硬且脆性大的半導體材料表面。磨粒的粒度分布經(jīng)過精心設計,從粗粒度用于高效去除大量材料,到細粒度實現(xiàn)精密的表面修整,整個過程如同工匠精心雕琢藝術品。在磨削過程中,結合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時機發(fā)揮磨削功能,同時又能在磨粒磨損到一定程度時,適時讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過程被稱為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過優(yōu)化結合劑配方,實現(xiàn)了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長時間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導體晶圓的高質量減薄加工奠定堅實基礎。在實際應用中,優(yōu)普納砂輪展現(xiàn)出的高精度、低損耗和強適配性,使其成為半導體加工領域不可或缺的高效工具。氮化鎵砂輪工藝

氮化鎵砂輪工藝,砂輪

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的低損耗特性,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨特的多孔顯微組織調控技術,使得砂輪在高磨削效率的同時,磨耗比極低。在實際應用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質量上,損傷極小,進一步提升了產(chǎn)品的性價比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進程中占據(jù)優(yōu)勢。適配砂輪廠家基體優(yōu)化設計的優(yōu)普納砂輪,減少振動,增強冷卻液流動,提升加工效率與質量,適配不同設備,展現(xiàn)強適配性。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司:碳化硅減薄砂輪已通過東京精密、DISCO等主流設備的兼容性測試,并獲得多家國際半導體廠商的認證。例如,在DISCO-DFG8640設備上,優(yōu)普納砂輪連續(xù)加工1000片8吋SiC晶圓后,磨耗比仍穩(wěn)定在200%以內,精度無衰減。這一表現(xiàn)不只達到進口砂輪水平,更以快速交付與本地化服務贏得客戶青睞,成為國產(chǎn)替代優(yōu)先選擇的品牌。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的強度高微晶增韌陶瓷結合劑通過納米級陶瓷相復合技術,明顯提升砂輪抗沖擊性與耐磨性。在6吋SiC襯底粗磨中,砂輪磨耗比低至11%,且無邊緣崩缺現(xiàn)象,TTV精度穩(wěn)定≤3μm。該技術尤其適用于碳化硅等高硬度材料加工,對比傳統(tǒng)樹脂結合劑砂輪,壽命延長50%,減少設備停機換輪頻率,助力客戶實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。在東京精密-HRG200X減薄機上,優(yōu)普納砂輪加工6吋SiC線割片,磨耗比為15%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。

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隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展,超薄晶圓的需求持續(xù)增長。這對襯底粗磨減薄砂輪提出了更高的挑戰(zhàn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢,致力于研發(fā)更先進的砂輪技術和制造工藝。我們通過與高校、科研機構的合作,不斷探索新的磨料、結合劑和制備技術,以提高砂輪的磨削效率和加工質量。同時,我們還注重環(huán)保型砂輪的研發(fā)和推廣,積極響應國家對于綠色制造的號召。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。在6吋SiC線割片的精磨加工中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機上實現(xiàn)磨耗比100%,Ra≤3nm,TTV≤2μm。磨削砂輪使用方法

優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以低磨耗比和高表面質量,打破國外技術壟斷 為國內半導體企業(yè)提供高性價比選擇。氮化鎵砂輪工藝

襯底粗磨減薄砂輪的應用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設計和制造,具有優(yōu)異的端面跳動和外圓跳動控制,能夠在高轉速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時致電咨詢~氮化鎵砂輪工藝