氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中,經(jīng)過不斷的改進發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國質(zhì)譜檢漏儀的檢測精度已經(jīng)達到了10-14Pa·m3/s,國外質(zhì)譜檢漏儀檢測精度達到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場中受洛倫茲力不同而做圓周運動半徑不同的原理,將不同質(zhì)荷比的離子分開,在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體,如果被檢件出現(xiàn)泄漏,則會檢測到示蹤氣體離子,再通過相應(yīng)計算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低,又是惰性氣體,使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏的方法很多,較早的是噴吹法,以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在半導(dǎo)體制造檢漏中經(jīng)常使用。揚州氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力
氣泡檢漏法氣泡法是出現(xiàn)比較早的檢漏方法,以其操作簡單,成本低廉而得到廣泛應(yīng)用。其原理是當(dāng)漏孔兩側(cè)存在壓差時,氣體就會通過泄漏點從高壓側(cè)向低壓側(cè)流動,如果將被測件放入液體中,將會出現(xiàn)氣泡,通過觀察氣泡產(chǎn)生位置可以確定泄漏點位置,通過收集氣體或者數(shù)氣泡的方法測量漏率。使泄漏點兩側(cè)產(chǎn)生壓差的方法有三種:充氣法,熱槽法和抽真空法。充氣法首先向被檢件中沖入氣體,使其壓力上升到規(guī)定值,然后將被檢件放入液體中,觀察氣泡。這樣的檢測結(jié)果很大程度上取決于測試者本人的判斷,而且光憑氣泡很難確定出泄漏率的大小。同時這些方法還可能帶來另外一些問題,如對被測物進行拆卸,清洗,烘干,涂防銹漆等額外工作。寧波滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用前需檢查接口及外觀完好性。
正壓漏率與真空漏率:正壓漏率是指泄漏到大氣的漏率,真空漏率是泄漏到真空的漏率。漏孔漏率包含分子流與粘滯流,其中分子流與壓力差成正比,粘滯流與壓力平方差成正比。一般來說,對于同一個漏孔,內(nèi)部壓力>10Bar,正壓漏率≈真空漏率。漏孔壓力與漏率衰減計算:10-1-10-6mbar.L/sec的漏孔,漏率與壓力平方成近似正比,壓力衰減,漏率也會衰減。計算時假定一段時間△t漏率不變,例如1個160cc的氣室,充氣壓力106bar,起始漏率=2.80E-5mbar.L/s。我們?nèi)?天為△t,以計算1天衰減后的壓力和漏率(同樣△t可以去1h,1min,或ls,乃至更小,但計算量線性增加)再以該計算的漏率計算第2天衰減后的壓力和漏率,以此類推,可以計算1年或某個時間的壓力衰減及漏率。
檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運行過程中,來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測泄漏率的大小,并且查明泄漏點具體的位置,從而可以進一步的找出一些原因,從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題,漏率是指單位時間內(nèi)流過泄漏點的物質(zhì)的質(zhì)量或者是分子數(shù)。液體、固體泄漏常用的漏率單位有:Kg/s、g/s、L/s、mL/s。氣體物質(zhì)的漏率,我國規(guī)定的漏率單位為:Pa·m3/s。標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)避免頻繁拆卸和安裝。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔是漏率溯源標(biāo)準(zhǔn)的總稱。根據(jù)不同應(yīng)用行業(yè),不同檢漏儀器類型漏孔種類繁多,分類方式也多種多樣。漏率范圍也從微漏率10-13Pa.m3/s的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔到做泄漏標(biāo)準(zhǔn)用的10NL/min空氣壓差漏孔,范圍寬廣。標(biāo)準(zhǔn)漏孔按照對應(yīng)檢漏儀種類來分:真空氦漏孔,冷媒正壓漏孔,空氣壓差漏孔等,分別對應(yīng)氦質(zhì)譜檢漏儀,鹵素(冷媒)檢漏儀,壓差檢漏儀等。按照漏孔元件類型可以分為:滲(氦)透型漏孔,通道型漏孔.其中滲透型漏孔主要用于真空氦漏孔,有玻璃,四氟乙烯等材料.通道型漏孔如金屬毛細(xì)管、拉伸的玻璃毛細(xì)管、金屬壓扁管、粉末燒結(jié)和微孔板等.按照漏孔結(jié)構(gòu)和應(yīng)用又可以分為有源漏孔和無源漏孔.也可以分為定值漏孔和可調(diào)漏孔.所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔種類繁多,針對每個產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域都要滿足具體的技術(shù)要求和應(yīng)用場景.本公司長期致力于提供所有檢漏需要的溯源標(biāo)準(zhǔn)(標(biāo)準(zhǔn)漏孔)的解決方案和產(chǎn)品服務(wù).標(biāo)準(zhǔn)漏孔可準(zhǔn)確模擬實際工況中的泄漏狀態(tài) 。鹽城正壓漏孔生產(chǎn)廠家
標(biāo)準(zhǔn)漏孔運輸過程中需做好防震保護 。揚州氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力
通道型漏孔屬于實漏型漏孔,漏孔元件是物理節(jié)流的漏氣通道,對所有的氣體成分都能通過,一般使用純氣體,以便得到所要求的氣體的漏率,本產(chǎn)品的VTL-B型為真空漏孔,是一種在真空技術(shù)和泄漏檢測中廣泛應(yīng)用的裝置,它設(shè)計用于產(chǎn)生已知且恒定的氣體泄漏率,以便在測試過程中提供準(zhǔn)確和可重復(fù)的參考。這種漏孔通常由特定材料制成,包含一個精確的微孔或通道,允許氣體以恒定的速率泄漏。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的主要應(yīng)用包括泄漏檢測設(shè)備的校準(zhǔn)、質(zhì)量控制和過程監(jiān)控、以及研究和開發(fā)等領(lǐng)域。揚州氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力
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