廣州TBI滾珠絲桿資料

隨著機械行業(yè)設(shè)備向大型化、重載化發(fā)展，臺寶艾研發(fā)多絲桿同步控制技術(shù)，滿足寬幅工作臺、重型負(fù)載的傳動需求。在大型龍門加工中心中，通過雙絲桿或四絲桿同步驅(qū)動工作臺，采用高精度光柵尺實時反饋位置信息，配合伺服驅(qū)動器的交叉耦合控制算法，將多絲桿的位置偏差控制在 ±5μm 以內(nèi)。當(dāng)工作臺負(fù)載達(dá) 5 噸時，多絲桿協(xié)同工作可確保運動平穩(wěn)性，速度波動小于 ±3%。在半導(dǎo)體行業(yè)的大型真空鍍膜設(shè)備中，四組滾珠絲桿同步驅(qū)動鍍膜腔室的升降機構(gòu)，實現(xiàn)升降速度 200mm/min，且各絲桿受力均勻性偏差≤2%，避免因偏載導(dǎo)致的絲桿損壞，保障設(shè)備長時間穩(wěn)定運行，提升半導(dǎo)體鍍膜工藝的一致性與良率 。臺寶艾滾珠絲桿，C5 級精度，雙螺母預(yù)緊，適用于半導(dǎo)體設(shè)備納米級定位。廣州TBI滾珠絲桿資料

傳統(tǒng)機床滾珠絲桿的潤滑主要依靠人工定期加注潤滑油，存在潤滑不及時、不均勻等問題，影響絲桿的使用壽命和性能。智能潤滑機床滾珠絲桿配備了自動潤滑系統(tǒng)，該系統(tǒng)通過傳感器實時監(jiān)測絲桿的運行狀態(tài)，包括轉(zhuǎn)速、負(fù)載、溫度等參數(shù)，根據(jù)預(yù)設(shè)的潤滑策略自動控制潤滑油的加注量和加注時間。當(dāng)絲桿運行速度快、負(fù)載大時，系統(tǒng)自動增加潤滑頻率和油量；當(dāng)絲桿處于低速或停機狀態(tài)時，減少潤滑量，避免潤滑油浪費。同時，智能潤滑系統(tǒng)還具備故障診斷功能，能夠及時發(fā)現(xiàn)潤滑管路堵塞、潤滑油不足等問題，并發(fā)出報警信號。在數(shù)控機床的實際應(yīng)用中，智能潤滑機床滾珠絲桿使?jié)櫥S護工作效率提高了 80%，絲桿的磨損量降低了 40%，有效延長了絲桿的使用壽命，降低了設(shè)備的維護成本。旋轉(zhuǎn)滾珠絲桿納米級表面處理，臺寶艾滾珠絲桿實現(xiàn) ±0.5μm 重復(fù)定位，適配高級半導(dǎo)體工藝。

滾珠絲桿的防爬行技術(shù)與機械低速平穩(wěn)性保障：針對機械低速運行時易出現(xiàn)的爬行現(xiàn)象，臺寶艾滾珠絲桿運用特殊防爬行技術(shù)。絲桿表面采用微織構(gòu)處理，通過激光加工出微米級凹坑，形成潤滑油儲存單元，在低速（0.1mm/s）工況下仍能保證良好的潤滑狀態(tài)。螺母與絲桿的接觸界面采用非對稱牙型設(shè)計，降低靜摩擦力與動摩擦力差值，使摩擦力波動范圍控制在 ±8% 以內(nèi)。在半導(dǎo)體曝光機的工作臺微調(diào)機構(gòu)中，該技術(shù)確保絲桿在微小位移時運行平穩(wěn)，避免圖像畸變，保證光刻精度。

深圳市臺寶艾傳動科技有限公司的 TBI 滾珠絲桿采用雙螺母預(yù)緊結(jié)構(gòu)，軸向間隙控制在 10μm 以內(nèi)，滿足半導(dǎo)體光刻機晶圓平臺納米級定位精度要求。絲桿軸體采用高碳鉻軸承鋼（GCr15），經(jīng)淬火回火處理后硬度達(dá) HRC60-62，配合研磨級滾道（表面粗糙度 Ra≤0.1μm），在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中實現(xiàn)重復(fù)定位精度 ±5μm。針對半導(dǎo)體行業(yè)潔凈需求，滾珠絲桿可選配全封閉防塵罩（材質(zhì)為不銹鋼），并通過真空鍍膜工藝在螺母表面形成 DLC 類金剛石涂層，降低摩擦系數(shù)至 0.008-0.012，避免金屬碎屑污染晶圓制程環(huán)境。變截面輪廓機床滾珠絲桿，優(yōu)化受力分布，提高承載能力與疲勞壽命。

臺寶艾 TBI 滾珠絲桿按 JIS 標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到 C5 級精度，螺距累積誤差≤15μm/300mm，適用于機械行業(yè)的精密傳動場景。在數(shù)控機床的 Z 軸進給系統(tǒng)中，絲桿的高剛性設(shè)計（長徑比≤40）可承受 2000N 的軸向載荷，配合伺服電機實現(xiàn) 0.001mm / 脈沖的進給分辨率。對于重型機械如注塑機模板移動機構(gòu)，采用大導(dǎo)程（20-50mm）滾珠絲桿，通過加大滾珠直徑（φ8-φ12mm）提升額定動載荷至 150kN 以上，確保模板移動速度達(dá) 500mm/s 時的平穩(wěn)性，降低機械振動對成型精度的影響。臺寶艾滾珠絲桿熱膨脹補償設(shè)計，控制溫升 5℃以內(nèi)，維持加工精度。佛山鋰電設(shè)備滾珠絲桿選型

包裝機械的送料機構(gòu)常采用滾珠絲桿實現(xiàn)穩(wěn)定輸送。廣州TBI滾珠絲桿資料

針對半導(dǎo)體低溫工藝（如晶圓冷凍傳輸）與機械低溫設(shè)備（如液氮冷卻系統(tǒng)），臺寶艾滾珠絲桿具備優(yōu)異的低溫適應(yīng)性。采用低溫潤滑脂（如硅基脂，使用溫度 - 60℃至 + 200℃），在 - 40℃時的啟動力矩≤0.2N?m；絲桿材料選用耐低溫鋼（如 1Cr18Ni9Ti），在 - 196℃時的沖擊韌性≥100J/cm2，避免冷脆失效。在半導(dǎo)體晶圓冷凍測試設(shè)備中，絲桿可在 - 150℃至 + 120℃的溫度循環(huán)中穩(wěn)定運轉(zhuǎn)，定位精度波動≤2μm，滿足極端溫度環(huán)境下的精密傳動需求，確保設(shè)備在特殊工況下的正常工作。廣州TBI滾珠絲桿資料