無塵氣動隔振器是一種專為潔凈室(無塵室)環(huán)境設(shè)計的高性能隔振裝置,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物技術(shù)、生命科學(xué)等領(lǐng)域,這些領(lǐng)域?qū)Νh(huán)境污染物(如灰塵、空氣中的微生物、氣溶膠顆粒和化學(xué)蒸氣)非常敏感。技術(shù)特點(diǎn)無塵室預(yù)處理程序Newport的S-2000AC系列無塵氣動隔振器采用專有的無塵室預(yù)處理程序制造,比較大限度地提高產(chǎn)品的清潔度,確保其適用于無塵室環(huán)境。高性能隔振設(shè)計垂直共振頻率低至1Hz,水平共振頻率為1.5Hz。水平隔振效率在5Hz時達(dá)到85%,在10Hz時達(dá)到95%;垂直隔振效率在5Hz時為94%,在10Hz時為98%。自動調(diào)平功能隔振器配備自動調(diào)平閥,能夠快速、精確地重新定位平臺,即使在受到干擾后也能迅速恢復(fù)水平.SmartTable HD結(jié)合了強(qiáng)大的IQ主動阻尼技術(shù)和RS2000系列平臺中的被動精密調(diào)諧阻尼器。江蘇SmartTablesUT2光學(xué)平臺Newport設(shè)備
高度調(diào)節(jié)功能提供+1.09英寸/-0.25英寸(+27.7毫米/-6.4毫米)的高度調(diào)節(jié)范圍,能夠輕松補(bǔ)償不平整的地面。層流阻尼技術(shù)采用層流阻尼元件,相比傳統(tǒng)設(shè)計,能夠產(chǎn)生更高的阻尼力,從而實(shí)現(xiàn)更快、更有效的振動衰減。無磁性設(shè)計隔振器采用非磁性材料,適用于對磁場敏感的應(yīng)用場景。應(yīng)用領(lǐng)域無塵氣動隔振器廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:半導(dǎo)體制造:用于光刻機(jī)、電子束曝光機(jī)等設(shè)備,確保高精度加工。生物技術(shù)與生命科學(xué):用于高精度顯微鏡、光譜儀等設(shè)備,減少振動對測量精度的影響。潔凈室環(huán)境:滿足ISO14644標(biāo)準(zhǔn),控制懸浮粒子濃度,確保無塵環(huán)境。優(yōu)勢高清潔度:通過無塵室預(yù)處理程序,確保隔振器在無塵環(huán)境中的使用。***的隔振性能:低共振頻率和高隔振效率,適用于高精度應(yīng)用。自動調(diào)平與高度調(diào)節(jié):提高隔振系統(tǒng)的易用性和適應(yīng)性。非磁性設(shè)計:適用于對磁場敏感的設(shè)備。江蘇SmartTablesUT2光學(xué)平臺Newport設(shè)備RPR平臺的堅固設(shè)計和寬帶阻尼性能使其適用于工業(yè)環(huán)境中的光學(xué)實(shí)驗(yàn),如光學(xué)元件的制造和測試。
密封安裝孔光學(xué)平臺是一種專為高精度光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)計的平臺,其安裝孔采用單獨(dú)密封設(shè)計,以提高平臺的可靠性和長期穩(wěn)定性。以下是密封安裝孔光學(xué)平臺的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢:特點(diǎn)單獨(dú)密封設(shè)計Newport的光學(xué)平臺采用單獨(dú)密封的安裝孔,每個安裝孔都配有深度為19毫米的錐形聚合物杯。這種設(shè)計相比市場上常見的開放式安裝孔或聚合物膜密封方式,更加可靠且便于清潔。防止污染密封安裝孔能夠有效防止灰塵和液體進(jìn)入平臺內(nèi)部,從而避免對平臺的阻尼性能和結(jié)構(gòu)完整性造成長期影響。這種設(shè)計有助于延長平臺的使用壽命,確保其性能在幾十年內(nèi)保持穩(wěn)定。安裝孔布局安裝孔通常采用1英寸(25毫米)網(wǎng)格分布,螺紋規(guī)格為1/4-20(英制版本)或M6(公制版本)。這種布局便于光學(xué)元件的快速安裝和重復(fù)使用。兼容多種支撐方式密封安裝孔光學(xué)平臺兼容多種支撐系統(tǒng),包括氣動隔振器(如S-2000A)和剛性支撐腿(如LabLegs),能夠滿足不同實(shí)驗(yàn)需求。
Newport的混合阻尼光學(xué)平臺(如SmartTable HD系列)是一種高性能的光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺,結(jié)合了主動阻尼和被動阻尼技術(shù),混合阻尼光學(xué)平臺適用于以下高精度實(shí)驗(yàn):超分辨率顯微鏡:需要極低振動環(huán)境以確保成像質(zhì)量。干涉儀實(shí)驗(yàn):高精度的干涉測量需要穩(wěn)定的平臺以避免振動干擾。納米結(jié)構(gòu)研究:高精度的納米級操作和測量。長時間曝光實(shí)驗(yàn):如光譜分析和全息成像?;旌献枘峁鈱W(xué)平臺憑借其***的性能,是高精度光學(xué)實(shí)驗(yàn)的理想選擇,尤其適用于對振動控制要求極高的應(yīng)用場景。平臺的高剛性和熱穩(wěn)定性使其適合用于測試光學(xué)元件在不同環(huán)境條件下的機(jī)械穩(wěn)定性。
NewportRPR系列光學(xué)平臺是一種寬帶阻尼工業(yè)及教育級光學(xué)平臺,具有出色的材料工藝和質(zhì)量,適用于多種光學(xué)元件測試和應(yīng)用。以下是RPR平臺可以用于的具體光學(xué)元件測試項目和應(yīng)用場景:適合的光學(xué)元件測試光學(xué)元件的對準(zhǔn)和測試RPR平臺的寬帶阻尼設(shè)計和高平整度工作表面(4.8毫米厚的430鐵磁不銹鋼)使其非常適合用于光學(xué)元件的對準(zhǔn)和測試。光譜學(xué)測試平臺的阻尼工作表面和復(fù)合邊緣處理能夠有效消除振動,為光譜學(xué)測試提供穩(wěn)定的支撐環(huán)境。透鏡和光學(xué)系統(tǒng)的測試RPR平臺可以用于測試光學(xué)透鏡、光學(xué)系統(tǒng)等元件的性能,如調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)、有效焦距、像散、場曲等。光學(xué)元件的機(jī)械穩(wěn)定性測試平臺的高剛性和熱穩(wěn)定性使其適合用于測試光學(xué)元件在不同環(huán)境條件下的機(jī)械穩(wěn)定性。非磁性光學(xué)元件測試RPR-N系列采用非磁性316不銹鋼,適用于需要去除所有磁性材料的光學(xué)元件測試。在需要長時間曝光的實(shí)驗(yàn)中,平臺的低振動特性能夠確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可靠性。內(nèi)蒙古自動調(diào)平隔振器Newport網(wǎng)站
平臺的阻尼工作表面和復(fù)合邊緣處理能夠有效消除表層和側(cè)壁的共振,為光學(xué)成像提供穩(wěn)定的支撐環(huán)境。江蘇SmartTablesUT2光學(xué)平臺Newport設(shè)備
Newport SmartTables UT2光學(xué)平臺是一種可升級的高性能光學(xué)平臺系統(tǒng),結(jié)合了被動精密調(diào)諧阻尼和可選的主動阻尼升級功能,適用于需要高振動控制的實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用。以下是SmartTables UT2光學(xué)平臺的安裝步驟和相關(guān)信息:
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