極紫外光刻(英語:Extremeultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長是下一代光刻技術(shù),其波長為13.5納米,預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收,因此,EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。此外在天體物理學(xué)的應(yīng)用上,有國際紫外探測器(IUE),是一個(gè)主要用于紫外光譜觀測的天文衛(wèi)星。在超過19年的觀測時(shí)間里,IUE對不同的天體進(jìn)行了10萬次以上的觀測,這些天體包括:行星、彗星、恒星、星際氣體、超新星、行星極光、星系和類星體等。這也是這種材料的典型應(yīng)用。微晶鋁合金可以做檢波器。什么是微晶鋁合金RSA-6061
普通鋁合金冷卻速度慢會帶來內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整,熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,使晶粒越細(xì)。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金,能很好的綜合了兩種金屬的優(yōu)點(diǎn)。具有高耐磨性能和精加工性能。其熱穩(wěn)定性能和機(jī)械穩(wěn)定性能高。材料的抗疲勞度好。應(yīng)用領(lǐng)域:航天工業(yè),如航空航天緊固件,結(jié)構(gòu)件。高導(dǎo)熱材料。電子封裝,如散熱器,載具,微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備,如激光器夾具,反射鏡。設(shè)備制造,如活塞氣缸,屏蔽設(shè)備,精密設(shè)備夾具,載具。RSA-905的表面平整度好,熱膨脹系數(shù)低,高導(dǎo)熱率,不需要做鍍層,適合精密拋光加工,而且成型后穩(wěn)定性能高,可以定制解決方案。應(yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具等。RSA-443的比剛度高,高導(dǎo)熱率,熱膨脹系數(shù)低,優(yōu)越的可加工性,成型后穩(wěn)定性能高,可以定制解決方案。應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件和精密設(shè)備零部件。航天航空微晶鋁合金儀器微晶鋁合金在加工過程中也表現(xiàn)出較好的塑性和可加工性,有利于制造形狀復(fù)雜、精度要求高的零部件。
微晶結(jié)構(gòu)鋁合金材料的應(yīng)用,RSA-905微晶結(jié)構(gòu),適合精密拋光加工,應(yīng)用反射鏡和光學(xué)透鏡模具。特點(diǎn):1,表面平整度好小于1nm2,不需要在表面鍍層3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導(dǎo)熱率6,輕量化解決方案。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高,可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。特點(diǎn):1,優(yōu)越的可加工性2,比剛度高3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導(dǎo)熱率6,輕量化解決方案。微晶RSA合金晶粒大小分布均勻,容易得到表面高平整度。
普通鋁合金冷卻速度慢會帶來內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整,熱膨脹系數(shù)大。微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,使晶粒愈細(xì)并且晶粒分布均勻。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金,更是很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。高耐磨性能和精加工性能。以及低的膨脹系數(shù)。在航天領(lǐng)域中,RSP鋁合金的**度和低膨脹系數(shù),可以做空間設(shè)備的零部件。RSP的高平整度和易加工性,可以做反射鏡。熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性能高??梢詰?yīng)用在高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件??蛊谛阅芎?。應(yīng)用于多種行業(yè)。有很好的性價(jià)比。RSA-905可以應(yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具,RSA-443可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件.6061可以做反射鏡荷蘭RSP微晶鋁光學(xué)鋁合金。
普通鋁合金冷卻速度慢會帶來內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整,熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,使晶粒越細(xì)。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金,更是很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。高耐磨性能和精加工性能。應(yīng)用領(lǐng)域:航天工業(yè),如航空航天緊固件,結(jié)構(gòu)件。高導(dǎo)熱材料。電子封裝,如散熱器,載具,微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備,如激光器夾具,反射鏡。設(shè)備制造,如活塞氣缸,屏蔽設(shè)備,精密設(shè)備夾具,載具。RSP鋁合金源頭直接出貨,且具有良好的可加工性能。微晶鋁合金材料的抗疲勞度高。標(biāo)準(zhǔn)微晶鋁合金電子
適合做反射鏡的6061微晶鋁合金。什么是微晶鋁合金RSA-6061
RSA鋁合金有高性價(jià)比優(yōu)勢。采用**的工藝技術(shù),實(shí)現(xiàn)了低成本的大批量制造。整體性能優(yōu)勢。⑴與AlSi50殼體相比:如果殼體為單一成分的AlSi50,那么與AlSi27蓋板的焊接難度大。梯度的封裝殼體同時(shí)兼顧了優(yōu)良的焊接性能和低的熱膨脹系數(shù)。從而實(shí)現(xiàn)了電子封裝管殼的柔性制造。⑵與鋁碳化硅Al/SiC相比:鋁碳化硅雖然也具有熱導(dǎo)率高,熱膨脹系數(shù)低的優(yōu)點(diǎn),但其制備工藝復(fù)雜,機(jī)械加工性能差,普通刀具無法加工,產(chǎn)量受限,同時(shí)加工后表面難以電鍍處理,使其應(yīng)用領(lǐng)域也受到限制。⑶與可伐合金相比:可伐合金雖然具有低熱膨脹系數(shù),但其熱導(dǎo)率差、密度高,不能滿足電子設(shè)備輕量化的要求。⑷與銅鎢、銅鉬相比:將銅與熱膨脹系數(shù)較低的W或Mo混合形成復(fù)合材料,該材料雖然可以獲得較高的熱導(dǎo)率,但密度卻比可伐合金還高,重量大。什么是微晶鋁合金RSA-6061