徐匯區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型要求

在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時(shí)要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運(yùn)行時(shí)間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長(zhǎng)度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗(yàn)的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動(dòng)選擇方式、頻譜聚類(lèi)選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測(cè)值與晶圓測(cè)量值之間的偏差的均方根（RMS）。交叉驗(yàn)證：交叉驗(yàn)證是一種更為穩(wěn)健的驗(yàn)證方法。徐匯區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型要求

防止過(guò)擬合：通過(guò)對(duì)比訓(xùn)練集和驗(yàn)證集上的性能，可以識(shí)別模型是否存在過(guò)擬合現(xiàn)象（即模型在訓(xùn)練數(shù)據(jù)上表現(xiàn)過(guò)好，但在新數(shù)據(jù)上表現(xiàn)不佳）。參數(shù)調(diào)優(yōu)：驗(yàn)證集還為模型參數(shù)的選擇提供了依據(jù)，幫助找到比較好的模型配置，以達(dá)到比較好的預(yù)測(cè)效果。增強(qiáng)可信度：經(jīng)過(guò)嚴(yán)格驗(yàn)證的模型在部署后更能贏得用戶的信任，特別是在醫(yī)療、金融等高風(fēng)險(xiǎn)領(lǐng)域。二、驗(yàn)證模型的常用方法交叉驗(yàn)證：K折交叉驗(yàn)證：將數(shù)據(jù)集隨機(jī)分成K個(gè)子集，每次用K-1個(gè)子集作為訓(xùn)練集，剩余的一個(gè)子集作為驗(yàn)證集，重復(fù)K次，每次選擇不同的子集作為驗(yàn)證集，**終評(píng)估結(jié)果為K次驗(yàn)證的平均值。普陀區(qū)直銷(xiāo)驗(yàn)證模型訂制價(jià)格分類(lèi)任務(wù)：準(zhǔn)確率、精確率、召回率、F1-score、ROC曲線和AUC值等。

光刻模型包含光學(xué)模型和光刻膠模型，其中光刻膠模型描述了光刻膠曝光顯影過(guò)程中發(fā)生的物理化學(xué)反應(yīng)[1]。光刻膠模型可以為光刻膠的研發(fā)和光刻工藝的優(yōu)化提供指導(dǎo)。然而，由于模型中許多參數(shù)不可直接測(cè)量或測(cè)量較為困難，通常采用實(shí)際曝光結(jié)果來(lái)校準(zhǔn)模型，即光刻膠模型的校準(zhǔn)[2]。鑒于模型校準(zhǔn)的必要性，業(yè)界通常需要花費(fèi)大量精力用于模型校準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)與結(jié)果，如圖1所示 [3]。光刻膠模型的校準(zhǔn)的具體流程如圖2所示 [2]。光刻膠模型校準(zhǔn)主要包含四個(gè)部分：實(shí)驗(yàn)條件的對(duì)標(biāo)、光刻膠形貌的測(cè)量、模型校準(zhǔn)、模型驗(yàn)證。

模型檢驗(yàn)是確定模型的正確性、有效性和可信性的研究與測(cè)試過(guò)程。具體是指對(duì)一個(gè)給定的軟件或硬件系統(tǒng)建立模型后，需要對(duì)其進(jìn)行行為上的可信性、動(dòng)態(tài)性能的有效性、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、可測(cè)數(shù)據(jù)的逼近精度、研究自的的可達(dá)性等問(wèn)題的檢驗(yàn)，以驗(yàn)證所建立的模型是否能夠真實(shí)反喚實(shí)際系統(tǒng)，或者說(shuō)能夠與真實(shí)系統(tǒng)達(dá)到較高精度的性能相關(guān)技術(shù)。 [2]模型檢驗(yàn)在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，它在軟件工程中用于驗(yàn)證軟件系統(tǒng)的正確性和可靠性，在硬件設(shè)計(jì)中確保硬件模型符合設(shè)計(jì)規(guī)范，而在數(shù)據(jù)分析與機(jī)器學(xué)習(xí)領(lǐng)域則評(píng)估模型的擬合效果和泛化能力。此外，在心理學(xué)與社會(huì)科學(xué)領(lǐng)域，模型檢驗(yàn)通過(guò)驗(yàn)證性因子分析等方法檢驗(yàn)量表的結(jié)構(gòu)效度，確保研究工具的可靠性和有效性。模型解釋?zhuān)菏褂锰卣髦匾?、SHAP值、LIME等方法解釋模型的決策過(guò)程，提高模型的可解釋性。

交叉驗(yàn)證有時(shí)也稱(chēng)為交叉比對(duì)，如：10折交叉比對(duì) [2]。Holdout 驗(yàn)證常識(shí)來(lái)說(shuō)，Holdout 驗(yàn)證并非一種交叉驗(yàn)證，因?yàn)閿?shù)據(jù)并沒(méi)有交叉使用。 隨機(jī)從**初的樣本中選出部分，形成交叉驗(yàn)證數(shù)據(jù)，而剩余的就當(dāng)做訓(xùn)練數(shù)據(jù)。 一般來(lái)說(shuō)，少于原本樣本三分之一的數(shù)據(jù)被選做驗(yàn)證數(shù)據(jù)。K-fold cross-validationK折交叉驗(yàn)證，初始采樣分割成K個(gè)子樣本，一個(gè)單獨(dú)的子樣本被保留作為驗(yàn)證模型的數(shù)據(jù)，其他K-1個(gè)樣本用來(lái)訓(xùn)練。交叉驗(yàn)證重復(fù)K次，每個(gè)子樣本驗(yàn)證一次，平均K次的結(jié)果或者使用其它結(jié)合方式，**終得到一個(gè)單一估測(cè)。這個(gè)方法的優(yōu)勢(shì)在于，同時(shí)重復(fù)運(yùn)用隨機(jī)產(chǎn)生的子樣本進(jìn)行訓(xùn)練和驗(yàn)證，每次的結(jié)果驗(yàn)證一次，10折交叉驗(yàn)證是**常用的 [3]。模型在訓(xùn)練集上進(jìn)行訓(xùn)練，然后在測(cè)試集上進(jìn)行評(píng)估。普陀區(qū)口碑好驗(yàn)證模型信息中心

回歸任務(wù)：均方誤差（MSE）、誤差（MAE）、R2等。徐匯區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型要求

在產(chǎn)生模型分析（即 MG 類(lèi)模型）中，模型應(yīng)用者先提出一個(gè)或多個(gè)基本模型，然后檢查這些模型是否擬合樣本數(shù)據(jù)，基于理論或樣本數(shù)據(jù)，分析找出模型擬合不好的部分，據(jù)此修改模型，并通過(guò)同一的樣本數(shù)據(jù)或同類(lèi)的其他樣本數(shù)據(jù)，去檢查修正模型的擬合程度。這樣一個(gè)整個(gè)的分析過(guò)程的目的就是要產(chǎn)生一個(gè)比較好的模型。因此，結(jié)構(gòu)方程除可用作驗(yàn)證模型和比較不同的模型外，也可以用作評(píng)估模型及修正模型。一些結(jié)構(gòu)方程模型的應(yīng)用人員都是先從一個(gè)預(yù)設(shè)的模型開(kāi)始，然后將此模型與所掌握的樣本數(shù)據(jù)相互印證。如果發(fā)現(xiàn)預(yù)設(shè)的模型與樣本數(shù)據(jù)擬合的并不是很好，那么就將預(yù)設(shè)的模型進(jìn)行修改，然后再檢驗(yàn)，不斷重復(fù)這么一個(gè)過(guò)程，直至**終獲得一個(gè)模型應(yīng)用人員認(rèn)為與數(shù)據(jù)擬合度達(dá)到他的滿意度，而同時(shí)各個(gè)參數(shù)估計(jì)值也有合理解釋的模型。 [3]徐匯區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型要求

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