動(dòng)態(tài)平衡優(yōu)勢(shì):高精度平衡提升穩(wěn)定性,新巴頓運(yùn)用雙面平衡機(jī)對(duì)軸承 - 轉(zhuǎn)子系統(tǒng)進(jìn)行整體平衡處理,嚴(yán)格按照 G0.4 級(jí)平衡精度(ISO 1940 標(biāo)準(zhǔn))執(zhí)行,將殘余不平衡量控制在 0.3g?mm/kg 以內(nèi)。對(duì)于 12kg 的轉(zhuǎn)子,經(jīng)平衡優(yōu)化后,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的離心力波動(dòng)可控制在 ±3N 以內(nèi),振動(dòng)加速度降低至 2.5m/s2 。某科研用分子泵設(shè)備經(jīng)此平衡處理后,運(yùn)行噪聲從 82dB 降至 65dB,不僅滿足了 ISO 11683 中精密機(jī)械的噪聲要求,還大幅提高了設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性,延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命。穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的新巴頓分子泵軸承,為科研探索提供堅(jiān)實(shí)保障。楊浦區(qū)巴頓VAC6000AC004分子泵軸承
針對(duì)需要在低溫環(huán)境運(yùn)行的機(jī)械(如航空航天的低溫泵、液化天然氣設(shè)備),新巴頓分子泵軸承具備優(yōu)異的低溫適應(yīng)性。采用低溫潤滑脂(如硅基脂,使用溫度 - 60℃至 + 200℃),在 - 40℃時(shí)的啟動(dòng)力矩≤0.1N?m;軸承材料選用耐低溫鋼(如 1Cr18Ni9Ti),在 - 196℃時(shí)的沖擊韌性≥100J/cm2,避免冷脆失效。在衛(wèi)星的真空熱試驗(yàn)設(shè)備中,軸承可在 - 150℃至 + 120℃的溫度循環(huán)中穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速波動(dòng)≤1%,滿足航天機(jī)械對(duì)極端溫度環(huán)境的嚴(yán)苛要求,確保設(shè)備在太空環(huán)境下的正常工作。巴頓C1608X205Y32分子泵軸承巴頓分子泵軸承:嚴(yán)格的質(zhì)量控制,確保產(chǎn)品性能好。
分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬 - 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對(duì)軸承的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級(jí)制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對(duì)此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。
新巴頓為機(jī)械行業(yè)用戶提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強(qiáng)輻射環(huán)境),可設(shè)計(jì)全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實(shí)驗(yàn)設(shè)備。對(duì)于超高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設(shè)計(jì),通過高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿足機(jī)械行業(yè)的極端工況需求。定制化過程中,工程師會(huì)通過有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構(gòu),如在大型分子泵中增加加強(qiáng)筋設(shè)計(jì),使軸承座的固有頻率避開運(yùn)轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機(jī)械共振。采用精密加工工藝,新巴頓分子泵軸承精度達(dá) P4 級(jí),適配機(jī)械精密設(shè)備。
新巴頓分子泵軸承的清潔度達(dá)到 ISO 4406:1999 標(biāo)準(zhǔn)的 12/9 級(jí),滿足高真空機(jī)械的嚴(yán)苛要求。生產(chǎn)過程中采用超聲波清洗(溶劑為異丙醇),配合真空干燥(壓力≤10?3Pa,溫度 60℃),去除表面殘留雜質(zhì)(顆粒尺寸>5μm 的污染物≤10 個(gè) / 100cm2)。在半導(dǎo)體離子注入設(shè)備中,這種高清潔度軸承可避免微粒污染晶圓,使工藝良率提升至 99.5% 以上。軸承裝配在潔凈室(Class 100)中進(jìn)行,操作人員穿戴無塵服,工具經(jīng)過紫外消毒,確保分子泵軸承在機(jī)械安裝后,不會(huì)成為真空系統(tǒng)的污染源,維持 10??Pa 級(jí)別的高真空環(huán)境。新巴頓分子泵軸承在醫(yī)療設(shè)備中,確保高精度與穩(wěn)定運(yùn)行。松江區(qū)巴頓C36STAY39分子泵軸承
跨行業(yè)技術(shù)融合,新巴頓分子泵軸承帶來機(jī)械創(chuàng)新應(yīng)用方案。楊浦區(qū)巴頓VAC6000AC004分子泵軸承
分子泵軸承選型需綜合考量轉(zhuǎn)速、載荷、真空度及環(huán)境介質(zhì)四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵為例,其轉(zhuǎn)子重量約 5kg,高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力可達(dá) 5000N,需選用接觸角為 30° 的角接觸球軸承,通過背對(duì)背安裝方式承受雙向軸向載荷。新巴頓提供的選型工具可根據(jù)用戶參數(shù)自動(dòng)計(jì)算:當(dāng)轉(zhuǎn)速超過 12 萬轉(zhuǎn) / 分鐘時(shí),推薦采用 7000 系列角接觸軸承,其 Dm?N 值(軸承節(jié)圓直徑 × 轉(zhuǎn)速)可達(dá) 1.2×10?mm?r/min,同時(shí)需搭配陶瓷球以降低離心力引起的形變。對(duì)于含腐蝕性氣體的真空環(huán)境,316L 不銹鋼材質(zhì)的軸承配合 PTFE 保持架,可耐受氯氣、氟化氫等介質(zhì)的侵蝕。楊浦區(qū)巴頓VAC6000AC004分子泵軸承