多普勒效應(yīng):當(dāng)測量鏡移動時,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測:光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號,經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量,即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米(μm)量級,細(xì)分后更可達(dá)到納米(nm)量級。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測物體的位移信息。吳中區(qū)購買雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
常見的干涉儀包括:邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。它通過將光束分成兩部分,分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。法布里-佩**涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。干涉儀的應(yīng)用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學(xué)特性等。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。吳中區(qū)購買雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。
這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計(jì)量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強(qiáng)。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計(jì)算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較好精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識?,F(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。吳中區(qū)購買雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
干涉儀的應(yīng)用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學(xué)特性等。吳中區(qū)購買雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
實(shí)時測量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,適合動態(tài)測量。廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測量、精密制造等領(lǐng)域。工作原理:雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測物體的位移信息。結(jié)論:雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具,適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測量精度將不斷提高。吳中區(qū)購買雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
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