激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計(jì)的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器,主要用于檢測(cè)光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測(cè)量精度可達(dá)到1/10-1/100波長(zhǎng)量級(jí),采用半導(dǎo)體激光器(635nm)作為光源,具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn),適用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景的批量檢測(cè) [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力,其中G150M、G200M及60-LP等型號(hào)產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量口徑設(shè)計(jì),可滿足不同使用場(chǎng)景需求 [2-4]。截至2025年,相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測(cè)物體的位移信息。江蘇銷售雙頻激光干涉儀維保
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長(zhǎng)的控制距離可到25米4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性5. 全套系統(tǒng)重量*15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間7、激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等,以及測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等。姑蘇區(qū)購買雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測(cè)量光的波長(zhǎng)、干涉條紋的變化等。
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長(zhǎng)度和折射率的測(cè)量,若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條,便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中,如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]
按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]; 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***,主要有如下幾方面:長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或***測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國際米。干涉儀是一種用于測(cè)量光波或其他波動(dòng)現(xiàn)象的儀器,利用干涉原理來分析波的特性。
這種無規(guī)則的變化較難通過觸發(fā)電平的自動(dòng)調(diào)整來補(bǔ)償,因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍,只有設(shè)法用交流測(cè)量系統(tǒng)代替直流測(cè)量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點(diǎn)。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器,所不同者,一方面是當(dāng)可動(dòng)棱鏡不動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是介于**亮和**暗之間的某個(gè)直流光平,而后者的干涉信號(hào)是一個(gè)頻率約為1.5MHz的交流信號(hào);雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。太倉直銷雙頻激光干涉儀性價(jià)比
光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。江蘇銷售雙頻激光干涉儀維保
環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn),雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測(cè)量機(jī),也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀**終擺脫了計(jì)量室的束縛,更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中因此,對(duì)于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對(duì)該儀器的了解,以致于改進(jìn)其性能,使其在計(jì)量方面有著更加廣泛的應(yīng)用,具有重大意義。江蘇銷售雙頻激光干涉儀維保
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