激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計(jì)的光學(xué)精密計(jì)量儀器,主要用于檢測(cè)光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測(cè)量精度可達(dá)到1/10-1/100波長量級(jí),采用半導(dǎo)體激光器(635nm)作為光源,具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn),適用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景的批量檢測(cè) [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力,其中G150M、G200M及60-LP等型號(hào)產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量口徑設(shè)計(jì),可滿足不同使用場(chǎng)景需求 [2-4]。截至2025年,相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。接受信號(hào)為交流信號(hào),前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點(diǎn)漂移等問題。吳江區(qū)耐用雙頻激光干涉儀銷售廠
多普勒效應(yīng):當(dāng)測(cè)量鏡移動(dòng)時(shí),測(cè)量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號(hào)|(f1±Δf)-f2|,該信號(hào)反映出位移引起的頻率變化。信號(hào)檢測(cè):光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長度進(jìn)行度量,即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米(μm)量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到納米(nm)量級(jí)。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測(cè)量,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。虎丘區(qū)附近雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測(cè)量范圍可以擴(kuò)展;
基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì),通過對(duì)比被測(cè)平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測(cè)量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測(cè)量口徑:Φ60mm(典型型號(hào)) [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造:檢測(cè)平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測(cè):評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析
環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng):雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量。同時(shí),既支持幾十米大量程的檢測(cè)(如大型機(jī)械),也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測(cè)量工具,適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補(bǔ)償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時(shí)沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時(shí),表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動(dòng)M2時(shí),會(huì)不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時(shí),中心就會(huì)“吐出”一個(gè)個(gè)條紋;反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時(shí),則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動(dòng)M2時(shí),條紋不斷移過視場(chǎng)中某一標(biāo)記位置,M2平移距離 d 與條紋移動(dòng)數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。虎丘區(qū)附近雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。吳江區(qū)耐用雙頻激光干涉儀銷售廠
(1)幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較好精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。吳江區(qū)耐用雙頻激光干涉儀銷售廠
蘇州貝格納工業(yè)設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無限潛力,貝格納供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭越來越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!