天津針座生產(chǎn)過(guò)程

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-10-10

針座分類針座從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng)針座、半自動(dòng)針座和全自動(dòng)針座。從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控針座、真空針座(很低溫針座)、RF針座、LCD平板針座、霍爾效應(yīng)針座和表面電阻率針座。高精度針座:目前世界出貨量的型號(hào)吸收了新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性-近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn))OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來(lái)源于東京精密的度量技術(shù)。實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。針座的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。天津針座生產(chǎn)過(guò)程

針座是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。針座用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與針座接觸并逐個(gè)測(cè)試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,針座是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過(guò)檢測(cè),針座將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。天津針座生產(chǎn)過(guò)程針座上有細(xì)小的金屬針座附著,通過(guò)降低針座高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤(pán)接觸。

如何判斷針座的好壞:1.可以用扎五點(diǎn)來(lái)判斷,即上中下左右,五點(diǎn)是否扎在壓點(diǎn)內(nèi),且針跡清楚,又沒(méi)出氧化層,針跡圓而不長(zhǎng)且不開(kāi)叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點(diǎn)接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過(guò)看實(shí)際測(cè)試參數(shù)來(lái)判斷,針座與被測(cè)IC沒(méi)有接觸好,測(cè)試值接近于0??傊僮鞴ぶ灰私饬酸樧收系闹饕颍?.針座氧化.2.針尖有異物(鋁粉,墨跡,塵埃).3.針尖高度差.4.針尖異常(開(kāi)裂,折斷,彎曲,破損)。.5.針尖磨平.6.針座沒(méi)焊好.7.背面有突起物,焊錫線頭.8.操作不當(dāng)。平時(shí)操作時(shí)應(yīng)注意:1.保護(hù)好針座,卡應(yīng)放到氮?dú)夤裰?2.做好針座的管理工作.3.規(guī)范操作,針尖不要碰傷任何東西。同時(shí)加強(qiáng)操作人員的技能培訓(xùn)。有利于提工作效率和提高質(zhì)量。

某些針尖位置低的扎傷AL層,對(duì)后續(xù)封裝壓焊有影響,使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,容易引起短路.某些針尖壓痕太長(zhǎng),超出PAD范圍,使PAD周圍的鋁線短路.所以平時(shí)我們操作時(shí)應(yīng)找準(zhǔn)接觸點(diǎn),把過(guò)行程設(shè)置為2~4MILS或70~100UM時(shí),每個(gè)壓點(diǎn)都有很清楚的針跡,然后再把過(guò)行程設(shè)置為0時(shí),看清楚每個(gè)壓點(diǎn)上都有輕輕的針跡,如果某些壓點(diǎn)上沒(méi)有針跡,就需要用鑷子把這根針壓下,如果某些壓點(diǎn)上針跡太重,而需要有鑷子把這根針往上抬一下,使針尖的高度差調(diào)在30UM以內(nèi),然后做接觸檢查,每根針與壓點(diǎn)接觸電阻應(yīng)小于0.5歐姆,樣片/樣管測(cè)試是否OK,合格、失效管芯各測(cè)10遍,看重復(fù)性與穩(wěn)定性。針座故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的。

觸點(diǎn)壓力的定義為針座頂端(測(cè)量單位為密耳或微米)施加到接觸區(qū)域的壓力(測(cè)量單位為克)。觸點(diǎn)壓力過(guò)高會(huì)損傷焊點(diǎn)。觸點(diǎn)壓力過(guò)低可能無(wú)法通過(guò)氧化層,因此產(chǎn)生不可靠的測(cè)試結(jié)果。針座是半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝等行業(yè)的測(cè)試設(shè)備。針座主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的,使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。如果是不合格的芯片,打點(diǎn)器立刻對(duì)這個(gè)不合格的芯片打點(diǎn)?;葜荻喙δ茚樧鶆?chuàng)新服務(wù)

某些針尖壓痕太長(zhǎng),超出PAD范圍,使PAD周圍的鋁線短路。天津針座生產(chǎn)過(guò)程

12英寸晶圓在結(jié)構(gòu)上具有更高的效率,以200mm工藝為例,在良率100%的情況下,可出88個(gè)完整的晶粒,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費(fèi)率為23%(約有20個(gè)晶粒因缺角破損而無(wú)法使用);而若以300mm工藝進(jìn)行切割,則產(chǎn)出效率將更驚人,可產(chǎn)出193個(gè)完整的晶粒,會(huì)浪費(fèi)19%的晶圓面積(36個(gè)不完整晶粒)。此外,12英寸廠的規(guī)模經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)也不容小視;300mm的建廠成本與200mm的建廠成本比值約為1.5,而晶圓廠建廠成本與晶圓面積的比值卻少于2.25,這意味著只要多投入1.5倍的建廠成本,即可多生產(chǎn)2.25倍的晶粒!少少的邊際投入即可獲取的收益,約可節(jié)省33%的成本;如此高報(bào)酬的投資效益隨著技術(shù)的發(fā)展而讓人們受益。天津針座生產(chǎn)過(guò)程

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