針座概要:晶圓針座是在半導體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設備。在電氣檢查中,通過針座或針座向晶片上的各個設備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設備的響應信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設備上的預定位置。針座是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。芯片測試是為了檢驗規(guī)格的一致性而在硅片集成電路上進行的電學參數(shù)測量。福建針座廠
在實際使用中,針座的接觸電阻在很大程度上取決于焊點的材料、清洗的次數(shù)、以及針座的狀況,而且它同標稱值相差較多。其中鎢錸合金(97%-3%)的接觸電阻比鎢稍高,抗疲勞性相似。但是,由于鎢錸合金的晶格結構比鎢更加緊密,其針座頂端的平面更加光滑。因此,這些針座頂端被污染的可能性更小,更容易清潔,其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。所以鎢錸合金是一種更佳的選擇。但是,接觸電阻是信號路徑電阻的重要組成部分。即接觸電阻、針座電阻、焊接電阻、trace電阻、以及彈簧針互連電阻的總和。陜西10p針座硅片測試的目的是檢驗可接受的電學性能。
針座治具的校準:我們希望校準過程盡可能的把測試網絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉,當使用針座夾具的方式進行操作有兩種校準方法:1-->一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準,然后通過加載針座S2P文檔的方式進行補償; 2-->第二種方法是直接通過針座搭配的校準板在針座的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償針座頭,而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。針座廠商一般都會提供針座的S2P文檔與校準片,校準片如下圖所示,上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。
針座上有細小的金屬針座附著,通過降低針座高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸,可以把卡上的線路和芯片的結合焊盤連起來。之后,運行測試程序檢驗芯片合格與否。測試完成后,針座于芯片分離,如果芯片不合格,則會在其**做上標記,然后圓片移動到下一個芯片的位置,這種方法可以讓圓片上的每一個芯片都經過測試。這一檢測過程會在芯片的每個焊盤上留下標記以表明該芯片被測試過了。通常我們作標記的方法是在不合格的芯片上打點。如果是合格的芯片,打點器不動作。
接觸電阻即針座尖與焊點之間接觸時的層間電阻。通常不能給出具體的指標,因為實際的接觸電阻很難測量。一般,信號路徑電阻被用來替代接觸電阻,而且它在眾多情況下更加相關。在檢測虛焊和斷路的時候,針座用戶經常需要為路徑電阻指定一個標稱值。信號路徑電阻是從焊點到測試儀的總電阻,即接觸電阻、針座電阻、焊接電阻、trace電阻、以及彈簧針互連電阻的總和。但是,接觸電阻是信號路徑電阻的重要組成部分。測試信號的完整性需要高質量的針座接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關。針座使用一段時間后,由于針座加工及使用過程中的微小差異導致所有針座不能在同一平面上會造成。江西貼片針座
我們通過針座把測試儀和被測芯片連接起來。福建針座廠
在設備方面,生產半導體測試針座的相關設備價格較高,國內廠商沒有足夠的資金實力,采購日本廠商的設備。另一方面,對于半導體設備而言,產業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)均會采購定制化的設備,客戶提出自身需求和配置,上游設備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),生產出經過優(yōu)化的適合該客戶的設備。因此,即使國產針座廠商想采購日本設備廠商的專業(yè)設備,也只能得到標準化的產品。在原材料方面,國產材質、加工的刀具等也不能達到生產半導體測試針座的要求,同時日本廠商在半導體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢,其提供給客戶的原材料也是分等級的,包括A級、B級、S級,需要依客戶的規(guī)模和情況而定。福建針座廠