盡管半導(dǎo)體測(cè)試針座國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導(dǎo)體測(cè)試針座還只能用于要求不高的測(cè)試需求,比如可靠性測(cè)試國產(chǎn)針座可以替代很多,但功能性測(cè)試和性能測(cè)試還有待突破。彈簧測(cè)試針座主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗(yàn)、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導(dǎo)體測(cè)試針座市場(chǎng)一直被國外廠商占據(jù),同時(shí)也實(shí)施了技術(shù)封鎖,國內(nèi)并沒有相應(yīng)的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計(jì)人員都缺乏。國內(nèi)大部分測(cè)試針座廠商基本不具備全自動(dòng)化生產(chǎn)制造能力。細(xì)針和待測(cè)器件進(jìn)行物理和電學(xué)接觸。廣東多功能針座鑄造輝煌
“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片,載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤,并在晶圓移動(dòng)的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位;其次,必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失。廣東多功能針座鑄造輝煌平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開。
在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,針座是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測(cè),針座將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。針座是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
針座氧化:通常針座是由鎢制成的,它如果長期不用,針尖要形起氧化,針尖如果氧化,接觸電阻變大,測(cè)試時(shí)參數(shù)測(cè)不穩(wěn),為了不使它氧化,我們平時(shí)必須保護(hù)好針座,把它放在卡盒里,存放在氮?dú)夤裰校乐贯樧募涌煅趸?,同時(shí)測(cè)片子時(shí),用細(xì)砂子輕輕打磨針尖并通以氮?dú)?,減緩氧化過程。針尖高低不平(若針尖高度差在30UM以上):針座使用一段時(shí)間后,由于針座加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有針座不能在同一平面上會(huì)造成。某些針尖位置高的扎不上AL層,使測(cè)試時(shí)這些針上電路不通。針座沒焊到位,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū)。
在設(shè)備方面,生產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試針座的相關(guān)設(shè)備價(jià)格較高,國內(nèi)廠商沒有足夠的資金實(shí)力,采購日本廠商的設(shè)備。另一方面,對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備而言,產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)均會(huì)采購定制化的設(shè)備,客戶提出自身需求和配置,上游設(shè)備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),生產(chǎn)出經(jīng)過優(yōu)化的適合該客戶的設(shè)備。因此,即使國產(chǎn)針座廠商想采購日本設(shè)備廠商的專業(yè)設(shè)備,也只能得到標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品。在原材料方面,國產(chǎn)材質(zhì)、加工的刀具等也不能達(dá)到生產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試針座的要求,同時(shí)日本廠商在半導(dǎo)體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢(shì),其提供給客戶的原材料也是分等級(jí)的,包括A級(jí)、B級(jí)、S級(jí),需要依客戶的規(guī)模和情況而定。針座尖接觸電阻即針座尖與焊點(diǎn)之間接觸時(shí)的層間電阻。廣東多功能針座鑄造輝煌
一般,信號(hào)路徑電阻被用來替代接觸電阻,而且它在眾多情況下更加相關(guān)。廣東多功能針座鑄造輝煌
針座沒焊到位,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū),而針虛焊和布線斷線或短路,測(cè)試時(shí)都要測(cè)不穩(wěn),所以焊針時(shí),應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn),焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術(shù)員平時(shí)焊完卡后應(yīng)注意檢查針座的質(zhì)量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應(yīng)在測(cè)試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測(cè)大電流時(shí),針尖上要引起多AL粉,使電流測(cè)不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗針座并用氮?dú)獯蹈?,同時(shí)測(cè)試時(shí)邊測(cè)邊吹氮?dú)?,以減少針尖上的AL粉。廣東多功能針座鑄造輝煌