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3-(甲基丙酰氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙酰氧基甲基)-2-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙酰氧基甲基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙酰氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙酰氧基甲基)-4-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷等不飽和氧雜環(huán)丁烷化合物等。它們可以單獨(dú)或兩種以上混合使用。一部分實(shí)施例中,上述粘合劑樹(shù)脂可以包含上述的樹(shù)脂與第二樹(shù)脂或第三樹(shù)脂的混合物。該情況下,相對(duì)于上述粘合劑樹(shù)脂100重量份,可以包含上述樹(shù)脂約5~60重量份、上述第二樹(shù)脂或第三樹(shù)脂約40~95重量份。一部分實(shí)施例中,上述粘合劑樹(shù)脂可以包含上述的樹(shù)脂、第二樹(shù)脂和第三樹(shù)脂的混合物。該情況下,相對(duì)于上述粘合劑樹(shù)脂100重量份,可以包含上述樹(shù)脂約5~60重量份、上述第二樹(shù)脂約30~70重量份以及上述第三樹(shù)脂約10~40重量份。例示性實(shí)施例中,上述感光性組合物總重量中,上述粘合劑樹(shù)脂的含量可以為約5~50重量%,推薦可以為約10~40重量%。在上述范圍內(nèi)時(shí),能夠同時(shí)提高對(duì)于曝光工序的靈敏度和對(duì)于顯影工序的分辨率??寡趸瘎┥鲜龈泄庑越M合物包含抗氧化劑,能夠抑制由上述粘合劑樹(shù)脂的氧化導(dǎo)致的變性、氧化。上述抗氧化劑可以以單體形態(tài)包含。樹(shù)脂型號(hào),推薦咨詢常州泰涵化工科技有限公司。徐州M4601樹(shù)脂
本發(fā)明涉及正型感光性樹(shù)脂組合物以及由其制造的絕緣膜。更詳細(xì)而言,涉及包含感光性樹(shù)脂和光產(chǎn)酸劑的正型感光性樹(shù)脂組合物以及由其制造的絕緣膜。背景技術(shù)::例如,為了形成顯示設(shè)備的光致抗蝕劑、絕緣膜、保護(hù)膜、黑矩陣、柱狀間隔物等多種多樣的光固化絕緣圖案,會(huì)使用感光性樹(shù)脂組合物。例如,硅氧化物或硅氮化物之類(lèi)的無(wú)機(jī)絕緣膜的介電常數(shù)高,因而對(duì)于低介電有機(jī)絕緣膜的需求增加,為了形成上述有機(jī)絕緣膜,可以使用上述感光性樹(shù)脂組合物。上述有機(jī)絕緣膜可以通過(guò)涂布上述感光性樹(shù)脂組合物后,通過(guò)預(yù)熱處理而進(jìn)行固化,然后通過(guò)曝光及顯影工序而形成為預(yù)定的圖案。上述感光性樹(shù)脂組合物根據(jù)通過(guò)顯影工序而被去除的部分分類(lèi)為正型和負(fù)型。對(duì)于正型組合物而言,曝光的部分被顯影液溶解,對(duì)于負(fù)型組合物而言,未曝光的部分發(fā)生溶解而可以形成圖案。由此,要求優(yōu)異的顯影性。此外,在上述有機(jī)絕緣膜的情況下,有必要以具有優(yōu)異的絕緣性的同時(shí)具有密合性等機(jī)械特性的方式形成,并且有必要以具有對(duì)于上述曝光工序的優(yōu)異的靈敏度的方式制造上述感光性樹(shù)脂組合物。例如,韓國(guó)公開(kāi)專(zhuān)項(xiàng)第2號(hào)中公開(kāi)了一種正型抗蝕劑組合物,但未能提供用于提高上述機(jī)械特性和顯影性的方案。湖北M4601樹(shù)脂銷(xiāo)售公司樹(shù)脂型號(hào),歡迎咨詢常州泰涵化工科技有限公司。
從而能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)于曝光工序的靈敏度以及與基材的密合性。上述第二樹(shù)脂除了上述單體以外還可以使能夠形成粘合劑樹(shù)脂的本技術(shù)領(lǐng)域:中常用的其他單體共聚而制造。一部分實(shí)施例中,上述第二樹(shù)脂的重均分子量可以為5,000~35,000,推薦可以為5,000~20,000。在上述范圍內(nèi)時(shí),能夠有效改善上述感光性組合物的留膜率,且減少膜殘?jiān)?。第三?shù)脂通過(guò)包含含有環(huán)氧基的丙烯酸系樹(shù)脂,能夠在例如后烘(post-baking)等熱處理工序中提高熱固性,從而更加提高絕緣膜的耐熱性、耐沖擊性等機(jī)械特性。一部分實(shí)施例中,上述第三樹(shù)脂可以來(lái)源于下述化學(xué)式4所表示的單體。[化學(xué)式4]化學(xué)式4中,z1可以為氫或甲基,z2可以為碳原子數(shù)1~6的亞烷基。z3和z4彼此自立地可以為氫或碳原子數(shù)1~6的烷基,可以彼此連接而形成碳原子數(shù)3~8的環(huán)。m可以為1~6的整數(shù)。上述化學(xué)式4所表示的單體的z2可以通過(guò)相鄰氧原子而形成醚鍵。由此,能夠進(jìn)行通過(guò)上述醚鍵的旋轉(zhuǎn),因而玻璃化轉(zhuǎn)變溫度減小而能夠改善感光性組合物的流動(dòng)性。此外,在上述化學(xué)式4中,可以通過(guò)調(diào)整m而調(diào)節(jié)單體長(zhǎng)度。通過(guò)調(diào)節(jié)上述單體長(zhǎng)度,能夠調(diào)節(jié)顯影工序之后所生成的絕緣圖案的側(cè)壁斜率。例如。
可以舉出羥基乙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸乙酯、甲氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丁酸酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、丙同酸甲酯、丙同酸乙酯等。作為酮類(lèi)溶劑的例子,可以舉出甲基乙基酮、甲基丙基酮、甲基正丁基酮、甲基異丁基酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、環(huán)己酮等。作為酰胺類(lèi)溶劑的例子,可以舉出n-甲基甲酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基乙酰胺、n-甲基吡咯烷酮等。作為內(nèi)酯類(lèi)溶劑的例子,可以舉出γ-丁內(nèi)酯。推薦地,從涂布性和絕緣膜的厚度均勻性方面考慮,可以使用丙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇甲基乙基酯或它們的混合物。上述溶劑的含量可以為除了上述的成分以及后述的添加劑以外的余量。例如,上述感光性組合物總重量中,上述溶劑的含量可以為約40~90重量%,推薦可以為約50~80重量%。在上述范圍內(nèi)時(shí),能夠合適地維持固體成分的含量和粘度而提高組合物的涂布性。樹(shù)脂哪里有?歡迎咨詢常州泰涵化工科技有限公司。
可以作為上述粘合劑樹(shù)脂中所含的苯酚單元或羥基的保護(hù)劑而發(fā)揮作用。根據(jù)例示性實(shí)施例,上述抗氧化劑可以包含二官能環(huán)氧系化合物。例如,抗氧化劑可以具有末端通過(guò)連接基團(tuán)而結(jié)合有環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)。一部分實(shí)施例中,上述抗氧化劑可以包含下述化學(xué)式6所表示的化合物。[化學(xué)式6]化學(xué)式6中,r1可以表示碳原子數(shù)1~6的亞烷基或碳原子數(shù)3~12的亞環(huán)烷基。在r1為亞烷基的情況下,可以為線型或支鏈型,在為支鏈型的情況下,碳原子數(shù)可以為3~6。一實(shí)施例中,上述抗氧化劑可以包含下述化學(xué)式6-1所表示的化合物。[化學(xué)式6-1]上述抗氧化劑能夠防止在例如曝光和顯影工序之后的后烘工序或之后的后續(xù)熱處理工序中苯酚單元或酸分解性基團(tuán)脫離所生成的苯酚單元發(fā)生氧化而變性為例如醌(quinone)。在上述粘合劑樹(shù)脂發(fā)生變性而包含醌的情況下,可能引發(fā)絕緣膜的黃變(yellowish)現(xiàn)象而使絕緣膜的透過(guò)度下降。例如,上述抗氧化劑通過(guò)環(huán)氧基在上述曝光和顯影工序之后能夠與上述苯酚單元所露出的羥基結(jié)合而抑制氧化變性為上述醌單元。因此,即使在上述后烘或后續(xù)熱處理工序之后,也能夠維持上述絕緣膜的期望的透明度、透過(guò)度。上述抗氧化劑例如通過(guò)線型連接基團(tuán)而在末端分別包含環(huán)氧基。樹(shù)脂價(jià)格哪家便宜?推薦咨詢常州泰涵化工科技有限公司。浙江水性樹(shù)脂樹(shù)脂銷(xiāo)售電話
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貿(mào)易型的優(yōu)化有力地拉動(dòng)了化工產(chǎn)業(yè)的市場(chǎng)需求,產(chǎn)業(yè)總體規(guī)模迅速擴(kuò)大,領(lǐng)域不斷拓展、結(jié)構(gòu)逐步調(diào)整、整體水平有較大提升,運(yùn)行質(zhì)量和效益進(jìn)一步提高。化工產(chǎn)業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的重要基礎(chǔ)行業(yè),與一國(guó)綜合國(guó)力和人們生活密切相關(guān)?;ぎa(chǎn)業(yè)由于規(guī)模體量大、產(chǎn)業(yè)鏈條長(zhǎng)、資本技術(shù)密集、帶動(dòng)作用廣、與大家生活息息相關(guān)等特征,受到各國(guó)的高度重視。近年來(lái),隨著貿(mào)易型飛速增長(zhǎng)、人們環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)和環(huán)境保護(hù)工作力度的加大,中國(guó)化工產(chǎn)業(yè)取得了較大的發(fā)展。在我國(guó)和各級(jí)相關(guān)部門(mén)不斷加大重視并持續(xù)增加收入,以及伴隨著工業(yè)發(fā)展產(chǎn)生的大量市場(chǎng)需求等方面因素的作用下,中國(guó)城市化工行業(yè)始終保持較快增長(zhǎng)。光引發(fā)劑應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)和**的眾多領(lǐng)域中,成為我國(guó)化工體系中市場(chǎng)需求增長(zhǎng)快的領(lǐng)域之一,近年來(lái)很多產(chǎn)品的消費(fèi)量年均增長(zhǎng)都在10%以上。徐州M4601樹(shù)脂
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