氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕孩俸庠诳諝庵械暮繕O少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備;⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點(diǎn),特別是可以在正常運(yùn)行中準(zhǔn)確快捷地對機(jī)組進(jìn)行檢漏,減少停機(jī)帶來的經(jīng)濟(jì)損失。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。溫州自動氦質(zhì)譜檢漏儀品牌氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。
氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應(yīng)時間，恢復(fù)時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應(yīng)時間：(s)，恢復(fù)時間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測模式所需要的時間。進(jìn)入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。
氦檢儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀，質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，用它來校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家