選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。湖州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應(yīng)時間、消除時間及其測定，反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。湖州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。
隨著汽車工業(yè)的快速發(fā)展，汽車空調(diào)工業(yè)對使用氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀進行氦檢的需求越來越大，對氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀的氦檢性能指標的要求也越來越高。針對汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、儲液罐和管路等零部件的檢漏要求和特點，上海睿德勵柯儀器儀表有限公司做了如下設(shè)計：獨特的氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀氣路設(shè)計，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間，有效防止氦污染。氦檢儀是一種對比性測試儀器，其工作原理是電離進入質(zhì)譜室的氦分子，轟擊靶心，放大，通過電流分析氦分子的數(shù)量！進入質(zhì)譜室的氦分子比例（分離比），電氣參數(shù)不同，電流相同，泄漏率可能不同；或泄漏率不同，電流相同；所有泄漏檢測儀本身不知道放大電流對應(yīng)的泄漏率，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀檢漏口配置：定制精密過濾設(shè)備，能有效防止雜物顆粒或銅粉進入儀器。多模式功能輸入、導(dǎo)出，便于連接各種自動化機械。機械與電路有效分離，避免溫度、磁場等相互影響，使檢漏儀運行更加平穩(wěn)可靠。蕞小可測漏率低，靈敏度高，檢驗量程達到12級。降低成本。氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。
氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？南通模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀
氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。湖州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運氦質(zhì)譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。湖州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀