氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書(shū)。二、清洗，泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險(xiǎn)管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。安徽無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦檢儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：（1）便攜式：較近各國(guó)推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。（4）全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀，質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。推車式氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法氦檢儀整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間，靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，恢復(fù)時(shí)間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過(guò)以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測(cè)的氦信號(hào)：(mbar.l/s)，響應(yīng)時(shí)間：(s)，恢復(fù)時(shí)間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開(kāi)入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái)，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開(kāi)，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦檢儀選擇無(wú)毒、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。
使用氦檢儀需注意的幾個(gè)問(wèn)題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負(fù)壓采樣法,該方法操作簡(jiǎn)便,但儀器的清理時(shí)間較長(zhǎng)。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測(cè)試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過(guò)節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復(fù)雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的使用后,靈敏度會(huì)有所下降,嚴(yán)重時(shí)對(duì)純氦無(wú)反應(yīng)。因此,平時(shí)應(yīng)該經(jīng)常保持儀器,特別是質(zhì)譜室的清潔,定期打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥運(yùn)行一段時(shí)間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對(duì)氦的記憶效應(yīng)。另外還要定期用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)儀器的靈敏度進(jìn)行校驗(yàn),使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態(tài)。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。上海無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法
氦檢儀普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。安徽無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無(wú)水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。如果操作正確，經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。安徽無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理