氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護:1.定期檢查機械泵的油位,如不足足應及時添加;如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道,這意味著油已經(jīng)惡化了。此時,應釋放泵中的油,必要時,先用新油沖洗,然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴,可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測器中取出,然后清洗,然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種,即噴氦法(負壓法),正壓法,氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言,噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時,也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀,應立即移去吸口。常州全自動氦質(zhì)譜檢漏儀報價
氦檢儀靈敏度降低應該如何維護?當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。寧波國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。
在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時,必須考慮其特性和真空測量的特性:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,恰當選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應該盡可能的短,且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應,因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應,這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體(如氬)一起抽空時尤為明顯。這可導致不一致和不準確的讀數(shù)。當烴類存在時,電離真空計受到有機分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應一樣,讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關(guān)點,以避免因上述現(xiàn)象導致的污染。強磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于電離真空計而言。為能夠產(chǎn)生超高真空,必須對真空設(shè)備,包括真空計進行烘烤。必須遵守技術(shù)要求中規(guī)定的蕞大烘烤溫度和條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理:氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理,以氦氣作為檢漏的儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩,與室內(nèi)氣體碰撞,氦氣泄漏進入室內(nèi),電離成正離子,正離子在加速電場的作用下進入人體磁場,當洛倫茲力效應偏轉(zhuǎn)時,電弧形成,加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設(shè)備檢漏。無錫模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法
氦質(zhì)譜檢漏儀應用領(lǐng)域:學??蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。常州全自動氦質(zhì)譜檢漏儀報價
氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個方面?第1,當氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準靈敏度時,標準泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同,即標準泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大,在途中泄漏氦的損失不相等,導致進入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二,進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。常州全自動氦質(zhì)譜檢漏儀報價