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氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級(jí)放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測(cè)量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口。安徽氦質(zhì)譜檢漏儀
氦檢儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃,所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計(jì)算,并在測(cè)試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值;方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。浙江模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面:第1,氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三,所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八,之后也就是檢漏操作人員的因素,包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,用得普遍的氦檢儀器。
氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法:一、環(huán)境條件,校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃,環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì),測(cè)量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分,分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào),該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少?安徽自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。安徽氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。安徽氦質(zhì)譜檢漏儀
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