勻膠顯影機(jī)是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設(shè)備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒(méi)式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來(lái),傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(pán)(hot plate)、冷盤(pán)(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個(gè)或兩個(gè)機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒(méi)式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面(interface),包括暫時(shí)儲(chǔ)存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機(jī)交換晶圓的接口等。 [1]隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,涂膠顯影機(jī)市場(chǎng)將迎來(lái)更多的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。新吳區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)按需定制
3)磁穗刮板:磁穗刮板控制顯影套筒(磁輥)輸送的顯影劑的量,這樣顯影劑磁穗將與感光鼓表面恰當(dāng)接觸。4)攪拌輪:顯影劑混合時(shí)會(huì)產(chǎn)生墨粉和載體的摩擦。因?yàn)檩d體充上正電荷,而墨粉會(huì)充上負(fù)電荷,從而通過(guò)摩擦產(chǎn)生的靜電會(huì)將充電的載體和墨粉依附在鼓表面。5)ATDC(磁通密度傳感器/自動(dòng)墨粉傳感器):顯影劑中的載體與墨粉(即墨粉濃度)應(yīng)保持固定的比例,從而才能打印出正常的圖像。ATDC通過(guò)磁橋電路檢測(cè)顯影劑中的墨粉的比率。當(dāng)傳感器探測(cè)到墨粉量不足時(shí),它會(huì)驅(qū)動(dòng)墨粉電機(jī)從墨粉盒中添加新粉。南通質(zhì)量涂膠顯影機(jī)供應(yīng)商毛刷輥旋轉(zhuǎn)方向與版材前進(jìn)方向相逆,有利于顯影效果。
反轉(zhuǎn)顯影中,感光鼓與色粉電荷極性相同。顯影時(shí),通過(guò)感光鼓和顯影輥之間的電場(chǎng)作用,碳粉被吸到感光鼓曝光區(qū)域。其中曝光部位電位低于顯影輥表面電位低于感光鼓未曝光部位電位。多用在數(shù)碼復(fù)合機(jī)與激光打印機(jī)中。復(fù)印機(jī)按顯影方式來(lái)分的話(huà),可以分為雙組份磁刷式顯影與單組份跳動(dòng)式顯影兩種。雙組份磁刷式顯影結(jié)構(gòu):雙組份磁刷式顯影方式的復(fù)印機(jī)的顯影器結(jié)構(gòu)中,1)載體(顯影劑):雙組份磁刷式顯影方式中**重要的一個(gè)元件就是載體,事實(shí)上載體是配件,并非通常人們所理解的消耗材料,因?yàn)樗跈C(jī)器運(yùn)行的過(guò)程中不產(chǎn)生消耗,只會(huì)因?yàn)橛〉枚嗔耍饾u疲勞而壽命終結(jié)。載體是由鐵粉與碳粉按一定比例混合而成的,混合使碳粉和載體之間產(chǎn)生摩擦,從而碳粉帶有負(fù)極性,載體帶有正極性。
單組份跳動(dòng)式顯影單組份跳動(dòng)式顯影在單組份顯影系統(tǒng),墨粉通過(guò)與顯影套筒摩擦進(jìn)行充電,并在通過(guò)磁穗刮板時(shí)被充電,通過(guò)磁穗刮板后,墨粉在顯影套筒上形成均勻的一層。當(dāng)墨粉層到達(dá)顯影套筒距感光鼓**近的地方時(shí),墨粉在磁極的電場(chǎng)作用下在感光鼓和顯影套筒之間移動(dòng)。然后,當(dāng)顯影套筒旋轉(zhuǎn)通過(guò)距離感光鼓**近的地方時(shí),由于顯影偏壓和感光鼓表面之間的電壓差,墨粉被吸附到已曝光過(guò)的感光鼓表面,進(jìn)行顯影。另一方面,在未曝光過(guò)的感光鼓表面,墨粉被顯影套筒吸引而不進(jìn)行顯影。當(dāng)墨粉到達(dá)感光鼓和顯影套筒很大的區(qū)域時(shí),由于電場(chǎng)消失,墨粉將被吸附在顯影套筒上。這樣顯影過(guò)程就完成了。 [2]溫度分布均勻,印版四點(diǎn)誤差不超過(guò)1 ℃, CTP顯影機(jī)不能超過(guò)0.5 ℃。
顯影:經(jīng)過(guò)曝光后,基材進(jìn)入顯影槽,使用顯影液去除未曝光的感光膠,留下已曝光的部分,從而形成清晰的圖像。干燥:***,經(jīng)過(guò)顯影的基材需要經(jīng)過(guò)干燥處理,以確保圖像的穩(wěn)定性和耐久性。二、應(yīng)用領(lǐng)域涂膠顯影機(jī)廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,主要包括:印刷行業(yè):在傳統(tǒng)的平版印刷、柔版印刷和絲網(wǎng)印刷中,涂膠顯影機(jī)用于制作印刷版,確保印刷質(zhì)量和效率。電子行業(yè):在電路板制造中,涂膠顯影機(jī)用于制作電路圖案,確保電路的精確性和可靠性。顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過(guò)曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來(lái)的過(guò)程。宜興挑選涂膠顯影機(jī)直銷(xiāo)價(jià)
為了保證顯影液在恒定條件下工作,此部分還有加熱器和冷卻器,可自動(dòng)調(diào)節(jié)溫度(一般控制在25℃左右)。新吳區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)按需定制
片傳動(dòng)方式基本分為兩類(lèi):齒輪傳動(dòng):膠片在洗片機(jī)輸片片路中,大都由自由轉(zhuǎn)動(dòng)的滑輪組支承并在滑輪間螺旋穿行,由滑輪組配備的傳遞動(dòng)力的輸片齒輪通過(guò)影片片孔硬性傳動(dòng)。這種方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,容易保證張力均勻分布。摩擦傳動(dòng):用表面有凸起物的彈性塑料圈外套的摩擦輪帶動(dòng)影片,摩擦輪的轉(zhuǎn)速由膠片張力自行調(diào)節(jié)。摩擦傳動(dòng)不用齒輪,同一臺(tái)機(jī)器可以沖洗窄寬不同的多種規(guī)格的膠片,并且不會(huì)損傷片孔,因此用途極為***。機(jī)器具有速度誤差在±2%以?xún)?nèi)的無(wú)級(jí)調(diào)速裝置,供改變顯影時(shí)間之需要。在緊鄰供收片處有儲(chǔ)片緩沖裝置,因此在運(yùn)行不間斷的狀態(tài)下,可在機(jī)器頭尾卡住膠片,收取沖洗完畢的影片和續(xù)接尚未沖洗的影片。新吳區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)按需定制
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