螺桿泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿比較末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）等。往復(fù)真空泵從安裝形式來(lái)分，有臥式往復(fù)真空泵及立式往復(fù)真空泵。武漢吸污真空泵廠(chǎng)
爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙，即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙，泵在運(yùn)行時(shí)的熱膨脹及抽除粉未等時(shí)容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性，一般人員很難達(dá)到裝配要求；因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，排氣通道復(fù)雜，在抽除可凝性氣體時(shí)（例如：水蒸汽，有機(jī)溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大，四級(jí)爪形真空泵有8個(gè)端面，不宜抽除大量可凝性氣體。武漢吸污真空泵廠(chǎng)水環(huán)真空泵的排氣管路不能安裝閥門(mén)，以免誤操作讓泵出口帶壓運(yùn)行。
鋯鋁吸氣泵的工作條件，壓強(qiáng)低于10-3Pa時(shí)，抽活性氣體的工作溫度為400 ℃，體內(nèi)擴(kuò)散速率是金屬表面維持足夠的吸氣速率而不能釋放氫；10-3~1Pa范圍內(nèi)，抽活性氣體工作溫度為750 ℃——提高溫度加速體內(nèi)擴(kuò)散，加速清洗吸氣劑表面，對(duì)H2要求高抽速，工作溫度為400 ℃，對(duì)純氫要求大抽速和大吸氣量是，工作溫度一般為200~300 ℃，對(duì)純氫要求盡可能大的吸氣量而不需要大抽速時(shí)，可室溫工作，高真空或者超高真空系統(tǒng)中，工作溫度一般為400 ℃。
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機(jī)組，可很好地提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。
還有一種抽真空的設(shè)備叫水射機(jī)組，它是離心泵通過(guò)噴射器直接達(dá)到抽真空的目的（補(bǔ)充：水射機(jī)組也叫水噴射泵。工作原理為具有一定壓力的工作介質(zhì)水，通過(guò)噴嘴向吸入室高速?lài)姵?，將水的壓力變?yōu)閯?dòng)能，形成高速射流；吸入室中的氣體被高速射流強(qiáng)制攜帶與之混合，形成氣液混合流，進(jìn)入擴(kuò)壓器，從而使吸入室壓力降低，形成真空，在擴(kuò)壓器的擴(kuò)張段內(nèi)，混合射流的動(dòng)能轉(zhuǎn)變?yōu)閴毫δ埽俣冉档蛪毫ι?，氣體被進(jìn)一步壓縮，與水一起排出泵外，在水箱中氣水分離，氣體釋放入大氣，水由水泵循環(huán)再利用，周而復(fù)始達(dá)到抽真空的目的）。螺桿真空泵的級(jí)間無(wú)需通道，是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè)。武漢吸污真空泵廠(chǎng)
對(duì)于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿(mǎn)足要求，且冷卻水量較小。武漢吸污真空泵廠(chǎng)
真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。武漢吸污真空泵廠(chǎng)