真空泵的安裝方法：真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動小。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時(shí)應(yīng)清理管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）在連接管路中，用戶可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì)，隨時(shí)可檢查真空泵的極限壓力。真空泵可以用于蒸發(fā)，精餾，過濾，真空干燥等領(lǐng)域。北京半導(dǎo)體真空泵
旋片真空泵：裝有滑片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動，使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵，又稱滑片真空泵。它主要由泵體（靜子）和轉(zhuǎn)子組成。工作原理：在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的滑片，有些泵滑片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，在離心力等作用下,滑片沿槽作往復(fù)滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個(gè)或幾個(gè)可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時(shí),與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時(shí)，推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動,泵便不斷抽氣。惠州實(shí)驗(yàn)室用真空泵訂做真空泵抽吸氣的工作水應(yīng)能自循環(huán)，可以不另加水泵。
爪式真空泵，爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級都有2個(gè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時(shí)則排氣完畢，如此循環(huán)工作。無油渦旋真空泵，渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
水環(huán)真空泵的安裝：水環(huán)真空泵和壓縮機(jī)在安裝時(shí)，安裝面必須水平，并通過底角的孔用螺栓安裝牢固。為防止在安裝時(shí)焊渣進(jìn)入真空泵，在安裝時(shí)，應(yīng)在吸氣管上安裝上過濾網(wǎng)。水環(huán)真空泵氣水分離器的安裝，水環(huán)真空泵氣水分離器可直接安裝在水環(huán)真空泵的排氣口上，并用螺栓固定牢固。氣水分離器有一管路與泵相連，由此供給水環(huán)真空泵工作需水量，其余工作水由供水管供給，供水量大小由管路上的閥門調(diào)節(jié)。水環(huán)真空泵或壓縮機(jī)的進(jìn)氣管上應(yīng)裝有逆止閥，以便在停車時(shí)，防止真空泵或壓縮機(jī)內(nèi)的水在排氣管方面的壓力作用下返回系統(tǒng)。真空泵設(shè)備本身的優(yōu)點(diǎn)很多，但是不要再過冷的環(huán)境下運(yùn)用。
旋片真空泵的使用方法：1、使用前，應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書，開箱后應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量。收好備品備件和技術(shù)文件，拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝，接線，試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。2、為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油，應(yīng)先開啟泵口，按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中。同時(shí)查看油位，應(yīng)在油標(biāo)中心以上，但不要滿油標(biāo)，多了要放出。3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法。把護(hù)套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向。4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應(yīng)橫裝，并與泵同時(shí)動作。5、相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時(shí)，應(yīng)使用氣鎮(zhèn)閥。6、按說明書推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴(yán)格清洗后才能換入酯類真空泵油。7、檢查泵的極限壓力以壓縮式真空計(jì)為準(zhǔn)。全壓力計(jì)應(yīng)注意做好計(jì)與規(guī)管的配對校準(zhǔn)和備用比對規(guī)管。建議在規(guī)管與被測泵之間裝一球閥。不測時(shí)關(guān)閥，可延長規(guī)管使用時(shí)間。8、清洗。不宜浸洗，以免洗液進(jìn)入拼接轉(zhuǎn)子內(nèi)部，不易排出。9、拆裝。要按照使用說明書推薦和規(guī)定有序進(jìn)行，記好位置，合理擺放，以免錯(cuò)裝。羅茨真空泵為什么很受歡迎?離子真空泵費(fèi)用
選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。北京半導(dǎo)體真空泵
羅茨真空泵的保養(yǎng)方法：（一）、羅茨真空泵定期檢查：1、每日檢查：1）油位檢查：油量過多，使溫度升高，油量過少，造成潤滑不良。2）溫度檢查：用溫度計(jì)檢查泵各部位溫度。3）電動機(jī)負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測量電動機(jī)負(fù)荷。2、羅茨真空泵每月檢查：聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動。3、羅茨真空泵每3個(gè)月檢查：齒輪箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。4、羅茨真空泵每6個(gè)月檢查：1）前蓋軸承箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。2）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。3）齒輪微量程度的磨損對轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。北京半導(dǎo)體真空泵
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