潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響潔凈室檢測前,應對檢測區(qū)域進行充分清潔和消毒。江蘇實驗室檢測方便客戶
(1)在靜態(tài)條件下潔凈室(區(qū))監(jiān)測的懸浮粒子數(shù)、浮游菌數(shù)或沉降菌數(shù)必須符合規(guī)定。測試方法應符合現(xiàn)行國家標準《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法》GB/T16292、《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))浮游菌的測試方法》GB/T16293和《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))沉降菌的測試方法》GB/T16294的有關規(guī)定;(2)空氣潔凈度100級的潔凈室(區(qū))應對大于等于5μm塵粒的計數(shù)多次采樣,當大于等于5μm塵粒多次出現(xiàn)時,可認為該測試數(shù)值是可靠的。(3)潔凈室(區(qū))的溫度和濕度,應符合規(guī)定:生產(chǎn)工藝對溫度和濕度無特殊要求時,潔凈室(區(qū))溫度應為18~26℃,相對濕度應為45%~65%(4)不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間以及潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的空氣靜壓差不應小于5Pa,潔凈室(區(qū))與室外大氣的靜壓差不應小于10Pa。(5)潔凈室(區(qū))應根據(jù)生產(chǎn)要求提供照度,并應符合下列規(guī)定:1)主要工作室一般照明的照度值宜為300lx。2)輔助工作室、走廊、氣閘室、人員凈化和物料凈化用室的照度值不宜低于150lx。3)對照度有特殊要求的生產(chǎn)部位可設置局部照明。浙江消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦潔凈室檢測過程中,應注重節(jié)能降耗,實現(xiàn)綠色生產(chǎn)。
B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù),因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m;離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計數(shù)器采樣口的尺寸應適應等動力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計數(shù)器的采樣口應朝上,采樣口直徑應不小于30mm。設定計數(shù)器的粒徑范圍,使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應保留一個低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。
a.首先應對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒,采樣器進入被測房間時,先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時間不少于5min,并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動定時器、根據(jù)采樣量選定采樣時間。全部采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時間不少于48h。e.用肉眼直接計數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時,仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。安裝驗證和操作驗證完成并進行確認工作后即進行性能驗證。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。潔凈室內(nèi)使用的化學品和消毒劑需符合相關安全標準。山東潔凈工作臺檢測優(yōu)化價格
抽樣對有設計要求的區(qū)域進行檢測。江蘇實驗室檢測方便客戶
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側(cè)并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。江蘇實驗室檢測方便客戶