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五、潔凈室檢測(cè)的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè)：醫(yī)藥制造需要在無(wú)菌環(huán)境下完成，因此需要設(shè)立無(wú)菌車間（即“百級(jí)”車間）。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范，并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè)：由于微型芯片制造需要極為干燥無(wú)塵且高溫高壓條件下完成，在微電子制造廠中必須建立超純水站（UPW）以及超純氮?dú)庹荆∟G）等設(shè)施來(lái)滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè)：航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬(wàn)級(jí)”或“十萬(wàn)級(jí)”無(wú)菌車間進(jìn)行組裝與測(cè)試。這些車間具有完成**終裝配所需條件（如真空環(huán)境），并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。運(yùn)行確認(rèn)是要證明廠房、設(shè)施和設(shè)備的穩(wěn)定、可靠的運(yùn)行并符合設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)。江蘇潔凈工作臺(tái)檢測(cè)誠(chéng)信推薦

（1）在靜態(tài)條件下潔凈室（區(qū)）監(jiān)測(cè)的懸浮粒子數(shù)、浮游菌數(shù)或沉降菌數(shù)必須符合規(guī)定。測(cè)試方法應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測(cè)試方法》GB/T16292、《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）浮游菌的測(cè)試方法》GB/T16293和《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）沉降菌的測(cè)試方法》GB/T16294的有關(guān)規(guī)定；（2）空氣潔凈度100級(jí)的潔凈室（區(qū)）應(yīng)對(duì)大于等于5μm塵粒的計(jì)數(shù)多次采樣，當(dāng)大于等于5μm塵粒多次出現(xiàn)時(shí)，可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的。（3）潔凈室（區(qū)）的溫度和濕度，應(yīng)符合規(guī)定：生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無(wú)特殊要求時(shí)，潔凈室（區(qū)）溫度應(yīng)為18～26℃，相對(duì)濕度應(yīng)為45%～65%（4）不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間以及潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的空氣靜壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈室（區(qū)）與室外大氣的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。（5）潔凈室（區(qū)）應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求提供照度，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1)主要工作室一般照明的照度值宜為300lx。2)輔助工作室、走廊、氣閘室、人員凈化和物料凈化用室的照度值不宜低于150lx。3)對(duì)照度有特殊要求的生產(chǎn)部位可設(shè)置局部照明。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)檢測(cè)過(guò)程中，應(yīng)確保所有設(shè)備處于正常工作狀態(tài)。

四、照度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定：潔凈區(qū)主要操作間照度不得少于300勒克斯，一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。潔凈區(qū)的照度檢查每年不得少于一次，在經(jīng)過(guò)設(shè)備大修、廠房改造、工藝布局調(diào)整等變更的時(shí)候應(yīng)在變更結(jié)束后重新檢測(cè)照度。檢測(cè)要求：室內(nèi)照度測(cè)度必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源光輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對(duì)熒光燈必須有100h）。檢測(cè)方法:測(cè)點(diǎn)平面離地面0.85m，按間距1-2m布點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測(cè)定位置要求相同。記錄實(shí)測(cè)照度值并計(jì)算總的平均照度。照度測(cè)量一般*測(cè)定除局部照明之外的一般照明。

D.3.2靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處，并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。潔凈室檢測(cè)時(shí)需特別注意對(duì)生物安全柜等特殊設(shè)備的檢測(cè)。

B.2.1.3粒徑限制器為獲得測(cè)量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性，可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上，安裝一個(gè)粒徑限制器。改動(dòng)后，計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子，以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過(guò)率。粒徑限制器多種多樣，其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過(guò)率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過(guò)率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此，使用粒徑限制器時(shí)要小心，它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時(shí)要防靜電累積。為了減少電荷累積，粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。根據(jù)潔凈室的等級(jí)，合理選擇潔凈室的氣流分布流型。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

定期對(duì)潔凈室管理人員進(jìn)行培訓(xùn)和考核，提升其專業(yè)素養(yǎng)。江蘇潔凈工作臺(tái)檢測(cè)誠(chéng)信推薦

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響江蘇潔凈工作臺(tái)檢測(cè)誠(chéng)信推薦