山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

B.3.3.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）測(cè)量使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法基本相同，不同點(diǎn)只有一處，由于只需要大粒子的計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，因此對(duì)1μm以下粒子的儀器靈敏度無(wú)要求。注意離散粒子計(jì)數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點(diǎn)的空氣；計(jì)數(shù)器采樣管的長(zhǎng)度不得超過(guò)1m；離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中，計(jì)數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動(dòng)力采樣。在非單向流區(qū)域，離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上，采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計(jì)數(shù)器的粒徑范圍，使其只測(cè)量大粒子。為了保證所測(cè)粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度，應(yīng)保留一個(gè)低于5μm（見(jiàn)GB/T25915.1-2010中表1）的粒徑檔。將這個(gè)小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中，濃度之和不應(yīng)超過(guò)所用粒子計(jì)數(shù)器比較大濃度建議值的50%。引進(jìn)先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)，提升潔凈室檢測(cè)的效率和準(zhǔn)確性。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測(cè)量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū)，其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見(jiàn)圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過(guò)率的計(jì)算，該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不低于40%，對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）或凝聚核計(jì)數(shù)器（CNC）的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測(cè)量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來(lái)降低計(jì)數(shù)效率。此時(shí)，經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過(guò)率的乘積。河北生物安全柜檢測(cè)值得推薦對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。

五、潔凈室檢測(cè)的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè)：醫(yī)藥制造需要在無(wú)菌環(huán)境下完成，因此需要設(shè)立無(wú)菌車(chē)間（即“百級(jí)”車(chē)間）。該車(chē)間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范，并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè)：由于微型芯片制造需要極為干燥無(wú)塵且高溫高壓條件下完成，在微電子制造廠中必須建立超純水站（UPW）以及超純氮?dú)庹荆∟G）等設(shè)施來(lái)滿(mǎn)足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè)：航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬(wàn)級(jí)”或“十萬(wàn)級(jí)”無(wú)菌車(chē)間進(jìn)行組裝與測(cè)試。這些車(chē)間具有完成**終裝配所需條件（如真空環(huán)境），并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響定期對(duì)潔凈室管理人員進(jìn)行培訓(xùn)和考核，提升其專(zhuān)業(yè)素養(yǎng)。

②沉降菌的測(cè)試對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開(kāi)始；對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開(kāi)始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn)，打開(kāi)培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。通過(guò)潔凈室檢測(cè)，可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。河北生物安全柜檢測(cè)值得推薦

合格的第三方潔凈室檢測(cè)機(jī)構(gòu)普遍要求要有具體的潔凈相關(guān)檢測(cè)。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置，設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣[1]，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(cè)(例如非單向流)的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時(shí)，連接管的長(zhǎng)度和直徑不應(yīng)超過(guò)制造商的建議值。采樣過(guò)程中，因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)