河北實驗室環(huán)境檢測技術(shù)好

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn)，隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈室檢測不僅是當(dāng)前生產(chǎn)的需要，也是對未來產(chǎn)品質(zhì)量的投資。河北實驗室環(huán)境檢測技術(shù)好

1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室，那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室，則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確，也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動，必須檢測：2.1各區(qū)間的壓差正確；2.2門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確，即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動。3.過濾器檢漏對高效過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗，以保證懸浮污染物不會穿過：3.1損壞了的過濾器；3.2過濾器與其外框間的縫隙；3.3過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。安徽電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。

（七）室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器，設(shè)備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣對有噪聲設(shè)計要求的各個場所分別測定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下，非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA；單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA；潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定（1）測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計一般只測A聲級的數(shù)值。必要時測倍頻程聲壓級。（2）潔凈室面積在15m點采樣，除房間兩對角線相交的室中心位置外，另在房間四角對角線上對稱的選取4點。（3）執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號及標(biāo)準(zhǔn)實施日期。（4）被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標(biāo)圖。（5）被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑或沉降菌、浮游菌、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測潔凈室的溫濕度、噪聲。（6）測試用的儀器的編號和標(biāo)定征書測試方法細(xì)則及測試中的特殊情況.（7）測試結(jié)果包括在采樣點坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。（8）對異常測試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理。

在單向流潔凈室內(nèi)，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以，前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進(jìn)，而使塵粒只能前（下）進(jìn)，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。

壓差檢測要求：(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟：(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴(yán)于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進(jìn)機(jī)會應(yīng)納入持續(xù)改進(jìn)計劃中。山東實驗室檢測值得推薦

其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。河北實驗室環(huán)境檢測技術(shù)好

14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時，應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置，宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室（區(qū)）內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素，采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能。14.2.3凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施。空調(diào)機(jī)房、動力站房宜采取下列措施。河北實驗室環(huán)境檢測技術(shù)好