江蘇氣流潔凈室檢測公司

12.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。江蘇氣流潔凈室檢測公司

溫濕度與光照度的協(xié)同控制策略潔凈室需維持溫濕度在特定范圍內(nèi)（如22℃±2℃、45%±10% RH），以確保工藝穩(wěn)定性和人員舒適度。檢測采用多點溫濕度記錄儀，重點監(jiān)控關(guān)鍵區(qū)域（如灌裝線、凍干機出口）。某ADC藥物生產(chǎn)因濕度超標導(dǎo)致中間體吸潮降解，經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)是空調(diào)系統(tǒng)加濕閥故障。整改方案包括加裝冗余傳感器和自動報警功能。光照度檢測需確保工作區(qū)照度≥300 lux且無眩光，使用照度計按網(wǎng)格法布點測量。某光學(xué)元件廠因局部照度不足，導(dǎo)致員工操作失誤，后通過LED燈帶優(yōu)化實現(xiàn)均勻照明。此外，需定期校準環(huán)境參數(shù)儀器，確保數(shù)據(jù)可靠性。江蘇口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測評估為了達到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法。因此，應(yīng)立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。無菌操作間應(yīng)根據(jù)檢驗品種的需要，保持對鄰室的相對正壓或相對負壓，以防止外界污染空氣的流入。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。ISO 14644-1標準明確潔凈室空氣粒子濃度分級檢測要求。浙江風(fēng)速潔凈室檢測分析

當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。江蘇氣流潔凈室檢測公司

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。江蘇氣流潔凈室檢測公司