北京電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強

B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預定位置，設定計數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣[1]，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測(例如非單向流)的采樣點，采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時，連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應大于5%。潔凈室檢測數(shù)據(jù)應與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合，綜合分析。北京電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強

A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應位于測試點下風側(cè)并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”。D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學布點，而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點的數(shù)目都不得少于2個，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點數(shù)目對應懸浮粒子采樣點數(shù)，工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右，送風口測點位置離開送風面30cm左右，關(guān)鍵設備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點，每個采樣點一般采樣一次。上海潔凈室檢測服務至上潔凈室檢測過程中，應注重節(jié)能降耗，實現(xiàn)綠色生產(chǎn)。

潔凈室因其用途、氣流流型的不同，可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對象的潔凈室，通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差應不小于9.8Pa。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置

A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應位于測試點下風側(cè)并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。安裝驗證和操作驗證完成并進行確認工作后即進行性能驗證。

3.壓差檢測：潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區(qū)域的壓差進行測量，確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求，從而防止外部污染物進入潔凈室。4.氣流速度檢測：潔凈室內(nèi)的氣流速度對于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能導致塵埃粒子飛揚，而氣流速度過慢則可能導致塵埃粒子沉積。因此，氣流速度檢測是評估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測：潔凈室內(nèi)的各種表面，如墻壁、地面、設備外殼等，也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測通過對這些表面的塵埃粒子數(shù)量進行檢測，評估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。壓差檢測有助于確認潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。江西潔凈室檢測認真負責

持續(xù)改進潔凈室檢測流程和方法，提高檢測效率和效果。北京電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強

(1)凈化處理原則：能用局部凈化的場合，就盡可能不用凈化；或低級別的凈化高級別的局部凈化相結(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復雜化、增加造價、作業(yè)程序不易改變、人員流動不方便，以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，潔凈室的微粒實際上是不均勻分布的，較為典型的三區(qū)不均勻分布模型，即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風管上風段，上風段相對來說，潔凈程度比下風段要好表2為某10萬級潔凈車間內(nèi)沿一條送風管走向設置的六個測點檢測結(jié)果(空態(tài)下)，測點l~6由上風段依次向下，可以看出，各點塵粒數(shù)有較大區(qū)別當然，其中也有送風管上各送風口風量沒有較好調(diào)節(jié)的原因，但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。北京電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強