②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。潔凈室檢測通常包括空氣潔凈度、溫濕度、壓差等多個參數(shù)。檢測認真負責
5.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國家有關(guān)標準規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對室內(nèi)各種產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應(yīng)減少凹凸面。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當必須采用時宜采用干燥作業(yè),抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國家標準《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗,表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。廣東電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風口、照明器、回風口、各種管線等。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔,避免成為污染源。
15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行,應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時,應(yīng)符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響;2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計;3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設(shè)備及其管道,應(yīng)采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,應(yīng)采取被動隔振措施。其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。河北潔凈工作臺檢測服務(wù)至上
主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。檢測認真負責
B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù),因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m;離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上,采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計數(shù)器的粒徑范圍,使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應(yīng)保留一個低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。檢測認真負責