上海氣流潔凈室檢測誠信推薦

來源: 發(fā)布時間:2025-03-10

1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。上海氣流潔凈室檢測誠信推薦

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10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機,5含水量要求嚴(yán)格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。上海排風(fēng)柜潔凈室檢測第三方檢測機構(gòu)應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。

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1凈鞋的目的在于保護(hù)人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護(hù)人員凈化用室的清潔,**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮,換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,避免了清潔鞋被外出鞋污染,如跨越鞋柜式換鞋,清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

7.4.2風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

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5.1.3主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應(yīng)的等級水平。若室內(nèi)裝備與裝修水平高,而主體結(jié)構(gòu)為臨時的,就會形成嚴(yán)重的浪費。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協(xié)調(diào),使投資長期發(fā)揮作用。此外,溫度或沉陷不但可能影響安全,而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性,故須對主體結(jié)構(gòu)采取相應(yīng)措施。5.1.5對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房,在考慮其平面布局和構(gòu)造處理時,應(yīng)合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路,避免一般生產(chǎn)對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。當(dāng)防火方面與潔凈生產(chǎn)要求有***時,應(yīng)采取措施,在確保消防疏散的前提下,減少對潔凈生產(chǎn)的不利影響。干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。浙江潔凈室檢測公司

嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。上海氣流潔凈室檢測誠信推薦

D.3.7噪聲檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測點。D.3.8照度測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度,宜距地面0.85m,應(yīng)每25m2設(shè)一個測點。上海氣流潔凈室檢測誠信推薦