不會(huì)碎裂。但厚度100微米以內(nèi)的芯片，因?yàn)樾酒臼∫呀?jīng)非常脆弱了，芯片面積稍大時(shí)，頂針頂升，芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用，很容易就碎裂了。所以對(duì)于厚度100微米以內(nèi)的薄芯片，迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置，能夠?qū)穸仍?00毫米以下的芯片進(jìn)行剝離，而不會(huì)損傷芯片。本發(fā)明通過如下方式解決該技術(shù)問題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置，包括真空吸頭，所述真空吸頭的頂壁上設(shè)有中心孔與環(huán)繞所述中心孔布置的吸氣孔，其特征在于：還包括設(shè)于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅(qū)動(dòng)所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述頂升頭的頂壁上設(shè)有凹腔，所述頂升頭具有連通所述凹腔的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。使用時(shí)，將真空吸頭置于粘性膜正下方，通過真空吸頭吸住粘性膜的底面，頂升頭上升，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)對(duì)凹腔內(nèi)充氣，使凹腔處的粘性膜開始凸起，芯片與粘性膜逐漸分離，從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式，不會(huì)有傳統(tǒng)鋼制頂針受力集中的問題，能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離而不會(huì)損傷芯片，相比現(xiàn)有技術(shù)有了***的進(jìn)步。多年以來，成功開發(fā)了幾十余種各類的試驗(yàn)儀器。無錫頂針詞
一般A4紙即可）※測試資料儲(chǔ)存于硬碟（每一筆資料皆可儲(chǔ)存，不限次數(shù)）※測試條件皆由電腦畫面設(shè)定（含測試行程、速度、次數(shù)、空壓、暫停時(shí)間等等）※檢驗(yàn)報(bào)表抬頭內(nèi)容可隨時(shí)修改（中英文皆可）※檢驗(yàn)報(bào)表可自動(dòng)產(chǎn)生，不須再作輸入?！鶛z驗(yàn)報(bào)表可轉(zhuǎn)換為Excel等文書報(bào)表格式。南添SA品牌汽車按鍵開關(guān)荷重位移曲線儀跟同行比較之優(yōu)點(diǎn)：1、06年申請專利。2、曲線圖報(bào)表，文字報(bào)表可由客戶指定抬頭及LOGO；3、自動(dòng)生成EXCEL，自動(dòng)生成CPK；4、荷重傳感器荷重力多層保護(hù)，以更有效的保護(hù)易損貴重件荷重元，傳感器可以過載500%。具體頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)技術(shù)規(guī)格及參數(shù)或需求更多產(chǎn)品可來電查詢或登錄公司購買SA品牌微克南添儀器的試驗(yàn)機(jī)，全球客戶送貨上門，售后人員**當(dāng)面培訓(xùn)，直到學(xué)會(huì)為止。試驗(yàn)機(jī)校準(zhǔn)不設(shè)任何密碼，可以自主校驗(yàn)，保質(zhì)期過后可以自主找其他供貨商維修。試驗(yàn)機(jī)硬件驅(qū)動(dòng)，系統(tǒng)備份，解決客戶的后顧之憂。插拔力試驗(yàn)機(jī)，荷重曲線儀計(jì)量精度優(yōu)于，整機(jī)保修兩年，傳感器在保修范圍內(nèi)。湖州金頂針關(guān)鍵詞：頂針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)探針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)東莞市微克檢測設(shè)備有限公司。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體芯片的制作過程中，整個(gè)晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進(jìn)行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片，之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因?yàn)槟び姓承裕苯佑梦鞆哪ど衔?，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時(shí)，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細(xì)，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí)，因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏?，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對(duì)應(yīng)厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時(shí)。
市場上有那么多頂針，“頂針夫人的頂針特別之處在哪？”，“手縫一定要用頂針嗎？”，“手工壓線一定要用頂針嗎？”，“必需要兩個(gè)嗎？”，“金銀頂針比塑料的或不銹鋼的有何區(qū)別？”，“為什么這么貴?”，“頂針價(jià)格是多少？”，“怎么試大小呢？”，“怎樣購買頂針夫人的頂針呢？”。這些是交流群里問得**多的問題。現(xiàn)在我就來一一解答上述問題：1.頂針夫人的頂針特別之處在哪里？市場上有許多頂針，從中國傳統(tǒng)的到日本花樣翻新的和韓國自制的。（國內(nèi)市場還沒有看到西方更多各種各樣的。市場上的不同于中國傳統(tǒng)銅或鋁頂針，及韓國傳統(tǒng)布制頂針的所謂日本頂針-除了其傳統(tǒng)的sashiko用頂針（與我國的傳統(tǒng)頂針大同小異，佩戴部位不同）-幾乎全是西方傳統(tǒng)頂針的翻版。無論是什么顏色或材質(zhì)制成的，傳統(tǒng)頂針的基本功能都是一樣的：保護(hù)手指的擋針牌！用法是縫幾針后，用其頂住針的眼部，將手縫針向前推，以免針眼部位向后戳進(jìn)手指。。?！皳踽樑啤本统闪怂许斸樀幕咎攸c(diǎn)。頂針夫人的頂針有兩種：一個(gè)是(老式銀頂針-指甲處開放)適用于單針縫。另一個(gè)是新式的壓線**（亦可美式拼布連針縫)-這個(gè)頂針2006年獲得國際專利。對(duì)于一版有多個(gè)探針（頂針）的產(chǎn)品，我司可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測試。
具體頂針探針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)技術(shù)規(guī)格及參數(shù)或需求更多產(chǎn)品可來電查詢或登錄公司購買SA品牌微克南添儀器的試驗(yàn)機(jī)，全球客戶送貨上門，售后人員**當(dāng)面培訓(xùn)，直到學(xué)會(huì)為止。試驗(yàn)機(jī)校準(zhǔn)不設(shè)任何密碼，可以自主校驗(yàn)，保質(zhì)期過后可以自主找其他供貨商維修。試驗(yàn)機(jī)硬件驅(qū)動(dòng)，系統(tǒng)備份，解決客戶的后顧之憂。插拔力試驗(yàn)機(jī)，荷重曲線儀計(jì)量精度優(yōu)于，整機(jī)保修兩年，傳感器在保修范圍內(nèi)。關(guān)鍵詞：頂針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)探針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)東莞市微克檢測設(shè)備有限公司精細(xì)的儀器，保證正確的測試結(jié)果；前列技術(shù)與完美售后，足以讓同行與客戶信服！這就是微克人做事做人做遵循的原則！主要為**精密力學(xué)檢測試驗(yàn)機(jī)研發(fā)生產(chǎn)，高低溫環(huán)境箱生產(chǎn)，信賴性檢測設(shè)備生產(chǎn)。2006年成功申請多項(xiàng)國家力學(xué)**試驗(yàn)機(jī)。為更好服務(wù)長三角客戶，于2006年末在蘇州設(shè)立辦事處。本公司是集產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高科技企業(yè)。公司主要產(chǎn)品有：力學(xué)檢測儀器、中英文工控組態(tài)軟件、力量傳感器，阻抗模塊，數(shù)據(jù)采集卡等等。主要試驗(yàn)機(jī)有按鍵荷重-位移曲線機(jī)（**產(chǎn)品）、全自動(dòng)插拔力試驗(yàn)機(jī)（**產(chǎn)品）、三軸按鍵開關(guān)荷重位移曲線儀（**產(chǎn)品），電腦全自動(dòng)扭力試驗(yàn)機(jī)。采用這樣的結(jié)構(gòu)，使進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的氣路與真空吸頭330的氣路相對(duì)穩(wěn)定。無錫軟頂針
不會(huì)因?yàn)閷?duì)凹腔541進(jìn)行充放氣操作影響真空吸頭330的運(yùn)行。無錫頂針詞
323-***氣孔，324-貫通孔，325-擋圈，330-真空吸頭，332-吸氣孔，333-中心孔，334-殼筒，335-蓋板,336-凸耳，337-限位凹腔，338-限位孔，340-第三伺服電機(jī)，341-凸輪，342-定位盤，350-傳感器，351-感應(yīng)凹槽，360-支架，370-電磁閥，380-坦克鏈，400-頂升頭，410-頂桿，411-凸起端頭，412-氣管接頭，413-第二氣道，414-第二氣孔，420-彈簧，430-導(dǎo)套，440-限位彈簧，441-限位塊，442-導(dǎo)桿，443-凸臺(tái)，444-臺(tái)階，445-讓位凹口，446-限位柱，500-頂塊，510-連接塊，511-容置腔，512-密封圈，513-滑槽，514-定位桿，515-連接孔，520-底部，530-中部，540-頂部，541-凹腔，550-第三氣道，560-圈形磁鐵。具體實(shí)施方式以下通過具體實(shí)施例來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步闡述：如圖1和圖4所示的空氣頂針式芯片膜上分離裝置，包括xy平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、真空吸頭330、設(shè)于真空吸頭330內(nèi)的頂升頭400、控制頂升頭400升降的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及控制頂升頭400充放氣的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。如圖1和圖4所示，xy平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向直線導(dǎo)軌100、縱向直線導(dǎo)軌200。無錫頂針詞
蘇州昕昀科技有限公司位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號(hào)2號(hào)樓312室，是一家專業(yè)的 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07，法定代表人為楊麗，注冊資本為200萬元人民幣，統(tǒng)一社會(huì)信用代碼為91320508MA1NH6YU0L，企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號(hào)2號(hào)樓312室，所屬行業(yè)為研究和試驗(yàn)發(fā)展，經(jīng)營范圍包含：工業(yè)技術(shù)研發(fā)；銷售：發(fā)光二極管材料，燈具，電子元器件，電線電纜，防靜電產(chǎn)品，無塵室耗材，檢測儀器設(shè)備，量具，工裝夾具，機(jī)電產(chǎn)品，橡膠制品，包裝材料，勞保用品，辦公用品。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)）。蘇州昕昀科技有限公司目前的經(jīng)營狀態(tài)為存續(xù)（在營、開業(yè)、在冊）。公司。在昕昀科技近多年發(fā)展歷史，公司旗下現(xiàn)有品牌昕昀等。公司不僅*提供專業(yè)的 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07，法定代表人為楊麗，注冊資本為200萬元人民幣，統(tǒng)一社會(huì)信用代碼為91320508MA1NH6YU0L，企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號(hào)2號(hào)樓312室，所屬行業(yè)為研究和試驗(yàn)發(fā)展，經(jīng)營范圍包含：工業(yè)技術(shù)研發(fā)；銷售：發(fā)光二極管材料，燈具，電子元器件，電線電纜，防靜電產(chǎn)品，無塵室耗材，檢測儀器設(shè)備，量具，工裝夾具，機(jī)電產(chǎn)品，橡膠制品，包裝材料，勞保用品，辦公用品。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)）。蘇州昕昀科技有限公司目前的經(jīng)營狀態(tài)為存續(xù)（在營、開業(yè)、在冊）。，同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。誠實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的沖頭，非標(biāo)件，襯套。