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在大面積基板上可制取均勻薄膜,放電電流隨壓強(qiáng)和電壓的改變而變化;2)三極或四極濺射??蓪?shí)現(xiàn)低氣壓,低電壓濺射,可**控制放電電流和轟擊靶的離子能量??煽刂瓢须娏鳎部蛇M(jìn)行射頻濺射;3)磁控濺射(或高速,低溫濺射)。在與靶表面平行的方向上施加磁場(chǎng),利用電場(chǎng)與磁場(chǎng)正交的磁控管原理,減少電子對(duì)基板的轟擊,實(shí)現(xiàn)高速低溫濺射;4)對(duì)向靶濺射。兩個(gè)靶對(duì)向放置,在垂直于靶的表面方向加磁場(chǎng),可以對(duì)磁性材料等進(jìn)行高速低溫濺射;5)射頻濺射。為制取絕緣薄膜,如氧化硅,氧化鋁,玻璃膜等而研制,也可濺射金屬;6)反應(yīng)濺射。可制作陰極物質(zhì)的化合物薄膜,如氮化鈦,碳化硅,氮化鋁,氧化鋁等;7)偏壓濺射。鍍膜過程中同時(shí)***基片上輕質(zhì)量的帶電粒子,從而使基板中不含有不純氣體;8)非對(duì)稱交流濺射。在振幅大的半周期內(nèi)對(duì)靶進(jìn)行濺射,在振幅小的半周期內(nèi)對(duì)基片進(jìn)行離子轟擊,***吸附的氣體,以獲得高純薄膜;9)離子束濺射。在高真空下,利用離子束濺射鍍膜,是非等離子體狀態(tài)下的成膜過程。靶接地電位也可;10)吸氣濺射。利用對(duì)濺射粒子的吸氣作用,除去不純物氣體,能獲得純度高的薄膜。3.離子鍍膜離子鍍膜技術(shù)是美國(guó)桑迪亞公司的。江蘇卷繞鍍膜機(jī)哪家功能多?浙江卷繞鍍膜機(jī)共同合作
種類繁多的塑料或其他高分子材料作為工程裝飾性結(jié)構(gòu)材料,大量應(yīng)用于汽車、家電、日用包裝、工藝裝飾等工業(yè)領(lǐng)域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外觀不夠華麗、耐磨性低等缺陷,如在塑料表面蒸鍍一層極薄的金屬薄膜,即可賦予塑料程亮的金屬外觀,合適的金屬源還可增加材料表面耐磨性能,拓寬了塑料的裝飾性和應(yīng)用范圍。真空鍍膜的功能是多方面的,這也決定了其應(yīng)用場(chǎng)合非常豐富??傮w來說,真空鍍膜的主要功能包括賦予被鍍件表面高度金屬光澤和鏡面效果,在薄膜材料上使膜層具有出色的阻隔性能,提供優(yōu)異的電磁屏蔽和導(dǎo)電效果。蒸發(fā)鍍膜通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜。這種方法早由M.法拉第于1857年提出,現(xiàn)代已成為常用鍍膜技術(shù)之一。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備結(jié)構(gòu)如圖1。蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)間(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。對(duì)于大面積鍍膜。浙江卷繞鍍膜機(jī)共同合作無錫卷繞鍍膜機(jī)哪家服務(wù)好?
真空鍍膜設(shè)備的蒸發(fā)源選取原則是什么呢?這是我們關(guān)注的一個(gè)問題,下面真空鍍膜設(shè)備廠家分析蒸發(fā)源選取原則。1.有良好的熱穩(wěn)定性,化學(xué)性質(zhì)不活潑,達(dá)到蒸發(fā)溫度時(shí)加熱器本身的蒸汽壓要足夠底。2.蒸發(fā)源的熔點(diǎn)要高于被蒸發(fā)物的蒸發(fā)溫度。加熱器要有足夠大的熱容量。3.蒸發(fā)物質(zhì)和蒸發(fā)源材料的互熔性必須很底,不易形成合金。4.要求線圈狀蒸發(fā)源所用材料能與蒸發(fā)材料有良好的浸潤(rùn),有較大的表面張力。5.對(duì)于不易制成絲狀、或蒸發(fā)材料與絲狀蒸發(fā)源的表面張力較小時(shí),可采用舟狀蒸發(fā)源。
通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑?duì)靶面的陽(yáng)極上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽(yáng)極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,即將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對(duì)面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負(fù)電,在達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí),靶處于負(fù)的偏置電位,從而使正離子對(duì)靶的濺射持續(xù)進(jìn)行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個(gè)數(shù)量級(jí)。卷繞鍍膜機(jī)的使用,售后有哪些注意事項(xiàng)?
通常對(duì)蒸發(fā)源應(yīng)考慮蒸發(fā)源的材料和形狀,一般對(duì)蒸發(fā)源材料的要求是:1.熔點(diǎn)高因?yàn)檎舭l(fā)材料的蒸發(fā)溫度(平衡蒸汽壓為)多數(shù)在1000~2000℃之間,因此,蒸發(fā)源材料的熔點(diǎn)應(yīng)高于此溫度.2.平衡蒸汽壓低主要是防止或減少高溫下蒸發(fā)源材料隨蒸發(fā)材料蒸發(fā)而成為雜質(zhì),進(jìn)入蒸鍍膜層中.只有在蒸發(fā)源材料的平衡氣壓足夠低時(shí),才能保證在蒸發(fā)時(shí)具有**小的自蒸發(fā)量,才不致影響系統(tǒng)真空度和污染膜層,為了使蒸發(fā)源材料所蒸發(fā)的數(shù)量非常少,在選擇蒸發(fā)溫度、蒸發(fā)源材料時(shí),應(yīng)使材料的蒸發(fā)溫度低于蒸發(fā)源材料,在平衡氣壓為×10-6Pa時(shí)的制備高質(zhì)量的薄膜可采用與×10-3Pa所對(duì)應(yīng)的溫度.3.化學(xué)性能穩(wěn)定在高溫下不應(yīng)與蒸發(fā)材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng).在高溫下某些蒸發(fā)源材料,與蒸發(fā)材料之間會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)及擴(kuò)散而形成化合物和合金.特別是形成低共熔點(diǎn)合金蒸發(fā)源容易燒斷.例如在高溫時(shí)鉭和金會(huì)形成合金,鋁、鐵、鎳、鈷也會(huì)與鎢、鉬、鉭等蒸發(fā)源材料形成合金.鎢還能與水或氧發(fā)生反應(yīng),形成揮發(fā)性的氧化物如WO、WO2或WO3;鉬也能與水或氧反應(yīng)而形成揮發(fā)性MoO3等.因此。江蘇真空鍍膜機(jī)哪家比較優(yōu)惠?河北高質(zhì)量卷繞鍍膜機(jī)
江蘇卷繞鍍膜機(jī)哪家比較優(yōu)惠?浙江卷繞鍍膜機(jī)共同合作
真空鍍膜機(jī)原理真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用很多的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及售后服務(wù)隊(duì)伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。下面,詳細(xì)介紹真空鍍膜機(jī)的各部分組成及其工作原理。一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用多的有直徑、、、,腔體由不銹鋼“target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。二、輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。機(jī)械泵:也叫前級(jí)泵,機(jī)械泵是應(yīng)用的一種低真空泵。浙江卷繞鍍膜機(jī)共同合作
無錫光潤(rùn)真空科技有限公司(簡(jiǎn)稱“光潤(rùn)真空”)是從事真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售、制造、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。
光潤(rùn)真空技術(shù)團(tuán)隊(duì)具有20多年真空鍍膜設(shè)備研制和工藝開發(fā)的經(jīng)驗(yàn),公司開發(fā)的GRJR系列、GRDR系列卷繞鍍膜設(shè)備等在國(guó)內(nèi)處于**水平。公司產(chǎn)品覆蓋磁控濺射卷繞鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)卷繞鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜**設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜**設(shè)備、多弧離子真空鍍膜**設(shè)備等。
公司產(chǎn)品出口法國(guó)、巴基斯坦、越南、印尼、韓國(guó)、泰國(guó)、西班牙、克羅地亞、波蘭、土耳其、巴西、烏克蘭等地。公司堅(jiān)持“表面處理整體解決供應(yīng)商”的經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略,推行“誠(chéng)信、創(chuàng)新、環(huán)?!钡慕?jīng)營(yíng)理念,竭誠(chéng)為國(guó)內(nèi)外用戶服務(wù)。