等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。等離子清洗機的主要作用機理是通過產(chǎn)生等離子體來處理樣品表面,使得表面變得更加清潔、活化或蝕刻。等離子體是一種由離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等組成的特殊狀態(tài),它具有極高的化學(xué)活性,可以有效地與樣品表面發(fā)生反應(yīng),從而清潔表面或改變表面的性質(zhì)。等離子清洗機處理后的時效性會因處理時間、氣體反應(yīng)類型、處理功率大小以及材料材質(zhì)的不同而有所差異。江西plasma等離子清洗機服務(wù)電話
半導(dǎo)體芯片作為現(xiàn)代電子設(shè)備的組成部分,其質(zhì)量和可靠性對整個電子行業(yè)至關(guān)重要。Die Bonding是將芯片裝配到基板或者框架上去,基板或框架表面是否存在有機物污染和氧化膜,芯片背面硅晶體的浸潤性等均會對粘接效果產(chǎn)生影響,傳統(tǒng)的清洗方法已經(jīng)無法滿足對芯片質(zhì)量的要求。使用微波plasma等離子清洗機處理芯片表面能有效地清潔并改善表面的浸潤性,從而提升芯片粘接的效果。微波是指頻率在300MHz-300GHz之間的電磁波,波長約1mm-1m,具有機動性高、工作頻寬大的特性,使用微波發(fā)生器配1.25KW電源產(chǎn)生微波將微波能量饋入等離子腔室內(nèi),使微波能量在低壓環(huán)境下形成等離子體。江蘇半導(dǎo)體封裝等離子清洗機性能等離子表面處理機常用的氣體為:空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等。
等離子體表面處理機也叫等離子清洗機、等離子表面處理機、plasma清洗機;用戶對它的稱呼非常多,它實際功能在于對物體表面處理,清洗、改性、刻蝕等;解決用戶不同的表面處理需求。表面活化:設(shè)備生產(chǎn)的等離子體內(nèi)有大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,通過物理及化學(xué)反應(yīng),將表面污染物、雜質(zhì)處理,達(dá)到表面清洗的作用;表面改性:等離子體與物體表面發(fā)生反應(yīng),使得物體表面的化學(xué)鍵斷裂,等離子體中的自由基反應(yīng)生產(chǎn)新鍵,提高表面活性,有利于粘接、涂覆等工藝。表面刻蝕:通入腐蝕性氣體進行等離子體反應(yīng)時,氣體與物體表面反應(yīng)生產(chǎn)揮發(fā)性物質(zhì),通過真空泵抽離,在表面形成需要的圖案、形狀,完成刻蝕效果。
等離子體不僅能有效地處理高分子聚合物表面的有機物污垢,同時還可用于PCBA及PCB、陶瓷面板、玻璃面板,金屬面板等材質(zhì)表面有機物的精細(xì)化清潔,"它對于這些材料的表面污染物的去除、提高表面能、表面改性,從而改善后工序之鍵合或粘合工藝。下面,我們一起來認(rèn)識下等離子清洗機在PCB制作工藝中的相關(guān)應(yīng)用案例。等離子清洗機清潔在PCB制作工藝中,相比濕法清洗更顯優(yōu)勢。對于高密度多層板(HDI)微孔,多層FPC除膠渣、Rigid-FlexPC除膠渣、FR-4高厚徑(縱橫)比微孔除膠渣(Desmear)等,效果更明顯更徹底。等離子清洗機清潔相比化學(xué)藥水除膠渣更穩(wěn)定,更徹底,良率可提高20%以上。等離子處理可以有效地去除內(nèi)飾件表面的有機污染物,并生成活性基團,達(dá)到清潔和活化的雙重效果。
等離子清洗工藝具有效果明顯、操作簡單的優(yōu)點,在電子封裝(包括半導(dǎo)體封裝、LED封裝等)中得到了廣泛的應(yīng)用。LED封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會降低產(chǎn)品質(zhì)量,如果在封裝工藝過程中的點膠前、引線鍵合前及封裝固化前進行等離子清洗,則可有效去除這些污染物。LED封裝工藝在LED產(chǎn)業(yè)鏈中,上游為襯底晶片生產(chǎn),中游為芯片設(shè)計及制造生產(chǎn),下游為封裝與測試。研發(fā)低熱阻、優(yōu)異光學(xué)特性、高可靠的封裝技術(shù)是新型LED走向?qū)嵱?、走向市場的必?jīng)之路,從某種意義上講封裝是連接產(chǎn)業(yè)與市場之間的紐帶,只有封裝好才能成為終端產(chǎn)品,從而投入實際應(yīng)用。LED封裝技術(shù)大都是在分立器件封裝技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展與演變而來的,但卻與一般分立器件不同,它具有很強的特殊性,不但完成輸出電信號、保護管芯正常工作及輸出可見光的功能,還要有電參數(shù)及光參數(shù)的設(shè)計及技術(shù)要求,所以無法簡單地將分立器件的封裝用于LED。在線式等離子清洗機在IC封裝行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣。浙江plasma等離子清洗機生產(chǎn)企業(yè)
等離子處理通過在介質(zhì)中產(chǎn)生等離子體,利用等離子體的高能離子轟擊表面,從而改變表面性質(zhì)。江西plasma等離子清洗機服務(wù)電話
等離子清洗機(plasma cleaner)是高科技的一款表面處理設(shè)備,通過等離子體來達(dá)到表面處理的作用;獲得清洗、活化、刻蝕、涂層等多方向的應(yīng)用,解決各種行業(yè)的表面處理難題。1、等離子清洗機原理密閉的反應(yīng)腔體(真空室、真空腔體)被真空泵不斷抽氣,從1個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下降到設(shè)定的壓力值并維持真空度;通入氬、氫、氮氣等工藝氣體,啟動等離子發(fā)生器,讓反應(yīng)腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場,使得自由電子能量加速,去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體,具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體,會與有機污染物及微顆粒污染物反應(yīng)、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì),這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去,從而達(dá)到被處理對象表面清潔、活化等目的。江西plasma等離子清洗機服務(wù)電話