超硬超精密VACUM CHUCK

微泰利用自主技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID（電解在線砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，飛秒激光切割技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。測包機分度盤（INDEXTABLE）在MLCC編帶工藝中使用的測包機分度盤生產(chǎn)取得了成功。測包機分度盤在通過拋光加工形成袋子時限制了袋子尺寸。經(jīng)過多年的發(fā)展，微泰發(fā)展出一種沒有口袋大小限制的生產(chǎn)方式，可以生產(chǎn)比目前的0201更小的分度盤。微泰MLCC測包機分度盤為客戶提供了高質(zhì)量的高穩(wěn)定性和超精密分度盤。適合多種規(guī)格尺寸的MLCC分度盤，0201型/0402型/0603型/1005型/1608型分度盤（黑氧化鋯），尺寸小于0201的分度盤(黑氧化鋯),環(huán)氧玻璃分度盤。微泰分度盤特點：1，保證口袋均勻性、高精度，沒有口袋形狀的限制。2，MLCC在所有口袋中都具有同等性能·采用黑色氧化鋯（密度6.05g/cm2）壽命長（抗蛀牙）。3，與競爭對手相比，交貨速度快/價格低/質(zhì)量好。5，使用微泰分度盤測包機速度可提升一倍。超精密激光切割的切縫小、變形小、切割面光滑、平整、美觀，無須后序處理。超硬超精密VACUM CHUCK

超精密加工技術(shù)市場是國家高技術(shù)集中的市場，它既是高代價、高投入的工藝技術(shù)，又是高增值、高回報的工藝技術(shù)，世界工業(yè)先進國家都把它放在國家技術(shù)和經(jīng)濟振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導(dǎo)航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤滑軸承，其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm，圓度和圓柱度均為納米級精度，這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級，它是用超精密磨削方法加工的。半導(dǎo)體超精密異形孔超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸、非熱效應(yīng)的加工方法，適用于各種材料的微細加工。

20世紀60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術(shù)。到80年代初，其加工尺寸精度已可達10納米（1納米=0.001微米）級，表面粗糙度達1納米，加工的小尺寸達 1微米，正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。20 世紀 50 年代至 80 年代為技術(shù)開創(chuàng)期。20 世紀 50 年代末，出于航天等技術(shù)發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。

微泰，精湛的超精密加工技術(shù)，可達到微米級加工，充分考慮材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于3um零件精密加工的關(guān)鍵在于確保高水平的精度和質(zhì)量，并確保與既定尺寸的偏差小實現(xiàn)。精密加工的半導(dǎo)體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過3μm，并通過三維接觸測量儀進行全數(shù)檢查和系統(tǒng)質(zhì)量的管材，為全球客戶提供精密加工。鋁（AL5052、AL6061、AL7075）、不銹鋼（SUS304、SUS316、SUS630）。銅、鎢、鈦和蒙奈爾合金（MONEL）。處理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亞胺(PI)等材料，需要精密加工。使用高難度材料，如無氧高導(dǎo)銅(OFHC)制造半導(dǎo)體精密零件。超精密激光可以高效實現(xiàn)微米級尺寸、特殊形狀、超精度的加工，材料表面無熔化痕跡，邊緣光滑無飛濺物。

超精密加工是指在微米級或納米級尺度上進行的加工技術(shù)，它能夠制造出具有極高精度和表面質(zhì)量的零件。這種加工技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件、醫(yī)療器械、航空航天等領(lǐng)域。超精密加工技術(shù)包括超精密車削、磨削、銑削、拋光等工藝，這些工藝要求使用高精度的機床設(shè)備、高質(zhì)量的刀具材料以及精細的加工參數(shù)控制。隨著科技的進步，超精密加工技術(shù)正向著更高的精度、更復(fù)雜的形狀和更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展。超精密技術(shù)是指在制造和測量過程中達到極高的精度和精確度。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密工程、航空航天、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。超精密加工技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米級別的加工精度，而超精密測量技術(shù)則能夠檢測出極微小的尺寸變化和形狀誤差。隨著科技的發(fā)展，超精密技術(shù)在提高產(chǎn)品質(zhì)量、性能和可靠性方面發(fā)揮著越來越重要的作用。航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件、雷射儀、光學(xué)儀器等也會運用超精密加工的技術(shù)。韓國加工超精密分配板

激光超精密加工具有切割縫細小的特點。激光切割的割縫一般在0.1-0.2mm。超硬超精密VACUM CHUCK

微泰，采用先進的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù)，進行半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。還可以進行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔，飛秒激光利用相對較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對象沒有物性變形層，表面平整，實現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔；可以混合加工不規(guī)則尺寸，孔間距可達0.3μm；可加工多達800,000個孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC疊層吸膜板，吸附板。超硬超精密VACUM CHUCK