高精度超精密倒裝芯片鍵合

超精密加工主要包括三個(gè)領(lǐng)域：超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削，可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統(tǒng)和天體望遠(yuǎn)鏡的大型拋物面鏡的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規(guī)模集成電路基片的加工。超精密特種加工如大規(guī)模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工，線寬可達(dá)0.1μm。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工，線寬可達(dá)2～5nm。超精密加工是指亞微米級(jí)(尺寸誤差為0.3～0.03μm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005μm)和納米級(jí)(精度誤差為0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實(shí)現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術(shù)措施，則稱為超精加工技術(shù)。加之測(cè)量技術(shù)、環(huán)境保障和材料等問題，人們把這種技術(shù)總稱為超精工程。激光超精密打孔是將光斑直徑縮小到微米級(jí)，從而獲得高的激光功率密度，幾乎可以在任何材料實(shí)行激光打孔。高精度超精密倒裝芯片鍵合

精密加工聽起來(lái)很遙遠(yuǎn)，其實(shí)與我們生活中非常貼近！像是前文有提到的航太、能源、醫(yī)療、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)都是因?yàn)橛懈呔鹊募庸げ拍芊€(wěn)定成長(zhǎng)。接下來(lái)也將跟你分享我們過去如何透過精密加工技術(shù)來(lái)成就這4個(gè)領(lǐng)域。 防衛(wèi)產(chǎn)業(yè)偵查、爆破還是防御系統(tǒng)，都是不可或缺的領(lǐng)域，而這些都必須要有高質(zhì)量的精密加工，才能穩(wěn)定成就安全保衛(wèi)的環(huán)節(jié)。像是偵查系統(tǒng)，就有光學(xué)感測(cè)、紅外線感測(cè)、雷達(dá)、無(wú)線電傳感器、聲學(xué)等技術(shù)支援，且需要在極端氣候如：沙漠、深海、極地地區(qū)保持良好的準(zhǔn)確性，才能在緊要關(guān)頭時(shí)偵測(cè)到敵方的一舉一動(dòng)。 能源產(chǎn)業(yè)不管是過往的天然氣、火力發(fā)電，到近年來(lái)盛行的綠色能源都與精密加工密不可分！比如說太陽(yáng)能、風(fēng)電設(shè)備等，就非常需要耐用和可靠的零件和產(chǎn)品，才能穩(wěn)定排放出廢料，維持良好的電力輸出。 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在零件的要求不僅精度高，且還需大規(guī)模生產(chǎn)，才能創(chuàng)造出具有高創(chuàng)造性、競(jìng)爭(zhēng)力的晶圓。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)會(huì)運(yùn)用精密加工的五軸CNC機(jī)床及車銑設(shè)備加工，到熱處理、化學(xué)表面處理技術(shù)，任一工法缺一不可，才能擁有精密模組及零件也可以支援研發(fā)端在技術(shù)上有所突破，提升產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力！超快超精密測(cè)包機(jī)分度盤不改變基材成分的激光超精密加工應(yīng)用有激光淬火(相變硬化)、激光清洗、激光沖擊硬化和激光極化等。

高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題?？偟膩?lái)說，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性，但以部分放棄加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高，但無(wú)法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。

微泰利用先進(jìn)的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID（電解在線砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。用于半導(dǎo)體加工真空板薄膜真空板倒裝芯片工藝真空塊MLCC貼合用真空板薄膜芯片粘接工具，鏡頭模組組裝治具。超精密刀片特性，材料：碳化鎢、氧化鋯等。刀刃對(duì)稱性：低于3um，刀片厚度（t1）：100um刀片邊緣粗糙度：Ra0.02um，刀刃厚度（t2）：低于0.2um角度（0）精度：±0.3°刀刃直線度：低于5um。MLCC刀具方面，生產(chǎn)MLCC垂直刀片，MLCC輪刀，MLCC修剪刀片，其特點(diǎn)是1，刀刃鋒利。2，與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，耐用性提高了50%。材料采用超細(xì)碳化鎢，具有1，高耐磨性。2，耐碎裂。特別是超薄，超鋒利的鏡頭切割器，光滑無(wú)毛邊地切割塑料鏡片的澆口，占韓國(guó)塑料鏡頭切割刀具90%以上的市場(chǎng)。超精密激光加工是先進(jìn)的加工技術(shù)，它利用高效激光對(duì)材料進(jìn)行雕刻和切割，主要的設(shè)備包括電腦和激光切割機(jī)。

一般來(lái)說，拋光是指利用陶瓷泥漿進(jìn)行機(jī)械聚光，以及石英和藍(lán)寶石等主要使用的拋光。利用激光的拋光技術(shù)在技術(shù)上經(jīng)常被提及，但未能應(yīng)用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)。因此，微泰感受到了在精密切削加工后，為了校正細(xì)微的平面度，需要采用拋光技術(shù)，通過與國(guó)外諸多研究機(jī)構(gòu)的合作，開發(fā)出激光拋光設(shè)備，并將其應(yīng)用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)。激光拋光技術(shù)是微泰自主技術(shù)，利用它進(jìn)行大面積拋光和研后微調(diào)、加工等多個(gè)領(lǐng)域。刀具方面，刀鋒可以加工到0.2微米厚度，刀片對(duì)稱度到達(dá)3微米以下，刀片邊緣線性低于5微米以下。我們特別專注于生產(chǎn)需要高難度、高公叉、高幾何公叉的產(chǎn)品，超精密零件，包括耗散零件、噴嘴、索引表和夾鉗，以及用于MLCC和半導(dǎo)體領(lǐng)域的各種精密零件，真空板?？梢约庸ず椭圃旄鞣N材料，包括不銹鋼、硬質(zhì)合金、氧化鋯和陶瓷，刀具，刀片，超高精密治具，鏡頭切割器和刀具CL切割器、TCB拾取工具、折疊芯片模具、攝像頭模組的拾取工具，治具。特別是超薄，超鋒利的鏡頭切割器，光滑無(wú)毛邊地切割塑料鏡片的澆口，占韓國(guó)塑料鏡頭切割刀具90%以上的市場(chǎng)，精密要求極高的攝像機(jī)傳感器與IC、PCB進(jìn)行熱壓接合用治具，也占韓國(guó)90%以上市場(chǎng)超精密激光加工屬于非接觸加工，不會(huì)對(duì)材料造成機(jī)械擠壓或應(yīng)力。熱影響區(qū)和變形很小，能加工微小的零部件。高精度超精密研磨

超精密加工常見的有CNC車床、研磨加工、放電及線切割加工等，由于大部分都由程式輸入數(shù)據(jù)后加工。高精度超精密倒裝芯片鍵合

微泰真空卡盤精密的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵部件，可確保晶圓表面的平坦度和平行度，從而在半導(dǎo)體制造過程中安全地固定晶圓，使各種制造過程順利進(jìn)行。微泰使無(wú)氧銅、鋁、SUS材料的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤的平坦度保持在3微米以下；支持6英寸、8英寸和12英寸尺寸的晶圓加工；支持2層和3層的高級(jí)加工技術(shù)。提供4層連接。尺寸：6英寸，8英寸.12英寸。材料:AL6061,AL7075,SUS304,SUS316OFHC(OxygenfreeHighConductivityCopper)平面度公差：小于3um連接:2floor,3floor,4floor表面處理:Anodizing,ElectrolessNickelPlating,GoldPlating,MirrorPolishing。無(wú)氧銅(OFHC)半導(dǎo)體晶圓真空卡盤，無(wú)氧銅(OFHC)材料可延長(zhǎng)晶圓卡盤的使用壽命，并可MAX限度地減少雜質(zhì)進(jìn)入半導(dǎo)體材料，從而防止?jié)撛谖廴?，而且易于加工和成型，可精確匹配卡盤設(shè)計(jì)?？杉庸?。然而，這種材料的加工要求極高，需要特別小心和精確才能獲得光滑的表面光潔度，例如翹曲或毛刺、易變形和加工過程中的硬化。高精度超精密倒裝芯片鍵合