用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應用**為普遍。熱電阻傳感器(圖6)熱電阻測溫是基于金屬導體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來進行溫度測量的。熱電阻大都由純金屬材料制成,應用**多的是鉑和銅,此外,已開始采用鎳、錳和銠等材料制造熱電阻。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測量溫度及與溫度有關的參數(shù)。在溫度檢測精度要求比較高的場合,這種傳感器比較適用。較為***的熱電阻材料為鉑、銅、鎳等,它們具有電阻溫度系數(shù)大、線性好、性能穩(wěn)定、使用溫度范圍寬、加工容易等特點。用于測量-200℃~+500℃范圍內的溫度。在利用信息的過程中,首先要解決的就是要獲取準確可靠的信息,而傳感器是獲取自然和生產領域中信息的主要途徑與手段。崇明區(qū)品牌傳感器現(xiàn)貨
電容式液位傳感器由電容式傳感器與電子模塊電路組成,它以兩線制4~20mA恒定電流輸出為基型,經過轉換,可以用三線或四線方式輸出,輸出信號形成為 1~5V、0~5V、0~10mA等標準信號。電容傳感器由絕緣電極和裝有測量介質的圓柱形金屬容器組成。當料位上升時,因非導電物料的介電常數(shù)明顯小于空氣的介電常數(shù),所以電容量隨著物料高度的變化而變化。傳感器的模塊電路由基準源、脈寬調制、轉換、恒流放大、反饋和限流等單元組成。采用脈寬調特原理進行測量的優(yōu)點是頻率較低,對周圍元射頻干擾、穩(wěn)定性好、線性好、無明顯溫度漂移等。長寧區(qū)常見傳感器銷售世界各國都十分重視這一領域的發(fā)展。
4、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,響應時間短,適合于微流體的精密測量和控制。國內外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導式和熱飛行時間式)、機械式和諧振式3種。清華大學精密儀器系設計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉換為梁表面彎曲應力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。5、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關,因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件,以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。
手機拍照帶給我們隨時隨地的便捷,但是面對復雜的環(huán)境、多樣的拍照場景,人手拍照有無法避免的抖動,像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長、手握自拍桿自拍,無論哪種抖動,憑借MEMS DRIVE馬達獨有的五軸防抖,和快速、精細控制的技術優(yōu)勢,都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片 [1]。1、微機械壓力傳感器微機械壓力傳感器是**早開始研制的微機械產品,也是微機械技術中**成熟、**早開始產業(yè)化的產品。從信號檢測方式來看,微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機械加工技術和**層技術為基礎制造。從敏感膜結構來看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結構。壓阻式壓力傳感器的精度可達0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達幾百兆帕,過壓保護范圍可達傳感器量程的20倍以上,并能進行大范圍下的全溫補償?,F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面?;魻杺鞲衅鞣譃榫€性型霍爾傳感器和開關型霍爾傳感器兩種。
一體化溫度一體化溫度傳感器一般由測溫探頭(熱電偶或熱電阻傳感器)和兩線制固體電子單元組成。采用固體模塊形式將測溫探頭直接安裝在接線盒內,從而形成一體化的傳感器。一體化溫度傳感器一般分為熱電阻和熱電偶型兩種類型。熱電阻溫度傳感器是由基準單元、R/V轉換單元、線性電路、反接保護、限流保護、V/I轉換單元等組成。測溫熱電阻信號轉換放大后,再由線性電路對溫度與電阻的非線性關系進行補償,經V/I轉換電路后輸出一個與被測溫度成線性關系的4~20mA的恒流信號。半導體應變片具有靈敏度高(通常是絲式、箔式的幾十倍)、橫向效應小等優(yōu)點。浦東新區(qū)標準傳感器推薦貨源
利用激光技術進行測量的傳感器。它由激光器、激光檢測器和測量電路組成。崇明區(qū)品牌傳感器現(xiàn)貨
例如,基于半導體硅材料壓阻效應的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應的微位移傳感器等。1.應用于醫(yī)療MEMS傳感器應用于無創(chuàng)胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計數(shù)很難測量準確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀,價格昂貴,*為少數(shù)大醫(yī)院使用,在中、小型醫(yī)院及廣大的農村地區(qū)無法普及。此外,超聲振動波作用于胎兒,會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低,也屬于有損探測范疇,不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。崇明區(qū)品牌傳感器現(xiàn)貨
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