雖然薄膜的光學(xué)現(xiàn)象早在17世紀(jì)就為人們所注意,但是把光學(xué)薄膜作為一個(gè)課題進(jìn)行專門(mén)研究卻開(kāi)始于20世紀(jì)30年代以后,這主要因?yàn)檎婵占夹g(shù)的發(fā)展給各種光學(xué)薄膜的制備提供了先決條件。時(shí)至***,光學(xué)薄膜已得到很大發(fā)展,光學(xué)薄膜的生產(chǎn)已逐步走向系列化、程序化和專業(yè)化,但是,在光學(xué)薄膜的研究中還有不少問(wèn)題有待進(jìn)一步解決,光學(xué)薄膜現(xiàn)有的水平在不少工作中還不能滿足要求,需要提高。在理論上,不但薄膜的生長(zhǎng)機(jī)理需要搞清,而且薄膜的光學(xué)理論,特別是應(yīng)用于極短波段的光學(xué)理論也有待進(jìn)一步完善和改進(jìn)。光學(xué)薄膜按應(yīng)用分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學(xué)保護(hù)膜、偏振膜、分光膜和位相膜。通州區(qū)挑選光學(xué)膜廠家供應(yīng)
對(duì)于CO2激光燈中紅外線波段,常用的鍍膜材料有氟化釔、氟化鐠、鍺等;對(duì)于YAG激光燈近紅外波段或可見(jiàn)光波段,常用的鍍膜材料有硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、氧化鋯等。除了高反膜、增透膜之外,還可以鍍對(duì)某波長(zhǎng)增反射、對(duì)另一波長(zhǎng)增透射的特殊膜,如激光倍頻技術(shù)中的分光膜等。光的干涉在薄膜光學(xué)中廣泛應(yīng)用。光學(xué)薄膜技術(shù)的普遍方法是借助真空濺射的方式在玻璃基板上涂鍍薄膜,一般用來(lái)控制基板對(duì)入射光束的反射率和透過(guò)率,以滿足不同的需要。為了消除光學(xué)零件表面的反射損失,提高成像質(zhì)量,涂鍍一層或多層透明介質(zhì)膜,稱為增透膜或減反射膜。隨著激光技術(shù)的發(fā)展,對(duì)膜層的反射率和透過(guò)率有不同的要求,促進(jìn)了多層高反射膜和寬帶增透膜的發(fā)展。為各種應(yīng)用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等。通州區(qū)挑選光學(xué)膜廠家供應(yīng)常用的保護(hù)膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。
誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)膜系,以增加勢(shì)透過(guò)率,減少反射,使通帶透過(guò)率增加的一類(lèi)濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法-珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價(jià)值。特別在紫外區(qū),一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。分光膜根據(jù)一定的要求和一定的方式把光束分成兩部分的薄膜。分光膜主要包括波長(zhǎng)分光膜、光強(qiáng)分光膜和偏振分光膜等幾類(lèi)。
光學(xué)薄膜按應(yīng)用分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學(xué)保護(hù)膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4種。光學(xué)反射膜用以增加鏡面反射率,常用來(lái)制**光、折光和共振腔器件。光學(xué)增透膜沉積在光學(xué)元件表面,用以減少表面反射,增加光學(xué)系統(tǒng)透射,又稱減反射膜。光學(xué)濾光膜用來(lái)進(jìn)行光譜或其他光性分割,其種類(lèi)多,結(jié)構(gòu)復(fù)雜。光學(xué)保護(hù)膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面,用以增加其強(qiáng)度或穩(wěn)定性,改進(jìn)光學(xué)性質(zhì)。最常見(jiàn)的是金屬鏡面的保護(hù)膜。根據(jù)一定的要求和一定的方式把光束分成兩部分的薄膜。
金屬反射膜的優(yōu)點(diǎn)是制備工藝簡(jiǎn)單,工作的波長(zhǎng)范圍寬;缺點(diǎn)是光損大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進(jìn)一步提高,可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層,組成金屬電介質(zhì)反射膜。需要指出的是,金屬電介質(zhì)射膜增加了某一波長(zhǎng)(或者某一波區(qū))的反射率,卻破壞了金屬膜中性反射的特點(diǎn)。全電介質(zhì)反射膜是建立在多光束干涉基礎(chǔ)上的。與增透膜相反,在光學(xué)表面上鍍一層折射率高于基體材料的薄膜,就可以增加光學(xué)表面的反射率。**簡(jiǎn)單的多層反射是由高、低折射率的二種材料交替蒸鍍而成的,每層膜的光學(xué)厚度為某一波長(zhǎng)的四分一。在這種條件下,參加疊加的各界面上的反射光矢量,振動(dòng)方向相同。合成振幅隨著薄膜層數(shù)的增加而增加。常見(jiàn)的是金屬鏡面的保護(hù)膜。啟東本地光學(xué)膜安裝
光學(xué)保護(hù)膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面,用以增加其強(qiáng)度或穩(wěn)定性,改進(jìn)光學(xué)性質(zhì)。通州區(qū)挑選光學(xué)膜廠家供應(yīng)
圖19.12示出裝配在高真空鍍膜機(jī)基板上的硬件布局。兩個(gè)電子槍源位于基板兩邊,周?chē)黔h(huán)形罩并被擋板覆蓋。離子源位于中間,光控窗口在離子源的前方。圖19.13示出真空室的頂部,真空室里有含6個(gè)圓形夾具的行星系統(tǒng)。夾具用于放置被鍍膜的光學(xué)元件。使用行星系統(tǒng)是保證被蒸發(fā)材料在夾具區(qū)域內(nèi)均勻分布的優(yōu)先方法。夾具繞公共軸旋轉(zhuǎn),同時(shí)繞其自身軸旋轉(zhuǎn)。光控和晶控處于行星驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置的中部,驅(qū)動(dòng)軸遮擋晶控。背面的大開(kāi)口通向附加的高真空泵。基底加熱系統(tǒng)由4個(gè)石英燈組成,真空室的兩邊各兩個(gè)。通州區(qū)挑選光學(xué)膜廠家供應(yīng)
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