(6)半導(dǎo)體激光器計(jì)量特性的研究和創(chuàng)新。半導(dǎo)體激光器用于計(jì)量需要解決很多問(wèn)題(如線寬、定標(biāo)、變頻等)。但如果解決了諸多問(wèn)題以后,半導(dǎo)體激光系統(tǒng)比氣體激光系統(tǒng)更復(fù)雜,就不會(huì)有競(jìng)爭(zhēng)力。有些問(wèn)題在物理層面上也沒(méi)有完全解決。例如半導(dǎo)體激光器如果能形成雙頻,無(wú)疑是一種十分重要的特性,如果既能掃頻又有兩個(gè)相近的頻率掃描,就會(huì)成為一種新的無(wú)導(dǎo)軌測(cè)量工具。本專業(yè)培養(yǎng)具備精密儀器設(shè)計(jì)制造以及測(cè)量與控制方面基礎(chǔ)知識(shí)與應(yīng)用能力,能在國(guó)民經(jīng)濟(jì)各部門從事測(cè)量與控制領(lǐng)域內(nèi)有關(guān)技術(shù)、儀器與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造、科技開(kāi)發(fā)、應(yīng)用研究、運(yùn)行管理等方面的高級(jí)工程技術(shù)人才。易于集成(只?1.2mm,重量只幾克)。粗糙度激光干涉儀位移
引力波測(cè)量干涉儀也可以用于引力波探測(cè)(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測(cè)器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國(guó)科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實(shí)驗(yàn)室建造初步的試驗(yàn)系統(tǒng)(Weiss 1972)。截止jin ri,激光干涉儀引力波探測(cè)器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)宣稱shou ci直接測(cè)量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認(rèn)為是兩路光線的干涉儀,而另外一類引力波探測(cè)實(shí)驗(yàn), 脈沖星測(cè)時(shí)陣列則可認(rèn)為是多路光線干涉儀(Hellings和Downs,1983)。3D激光干涉儀深度測(cè)量定位器的觸發(fā)運(yùn)動(dòng)控制。
測(cè)控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域
在基礎(chǔ)研究的初期,對(duì)于能否有突破性進(jìn)展是很難預(yù)測(cè)的。但是,當(dāng)已經(jīng)取得突破性進(jìn)展時(shí),則需要有一個(gè)轉(zhuǎn)化機(jī)制以進(jìn)入市場(chǎng)。
(1)納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。
(2)介入安裝和制造的坐標(biāo)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)。
關(guān)鍵理論和技術(shù):超半球反射器(n=2或在機(jī)構(gòu)上創(chuàng)新),快速、多路干涉儀(頻差3~5兆),二維精密跟蹤測(cè)角系統(tǒng)(0.2″~0.5″),通用信號(hào)處理系統(tǒng)(工作頻率5兆),無(wú)導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測(cè)量系統(tǒng)(分辨率1μm),熱變形仿真,力變形仿真。
(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求,這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷,非接觸測(cè)頭還沒(méi)有發(fā)展成熟,我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制,難以有突破性進(jìn)展,但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1~0.5μm分辨率。
(5)新器件,新材料。過(guò)去,科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng),忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方,而光頻高達(dá)10的14次方,目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用,適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過(guò)光頻,干涉儀也就沒(méi)有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高,對(duì)于通訊也是很大的突破。 寄生(錯(cuò)誤)運(yùn)動(dòng)將被確定。
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。我們的技術(shù)合作伙伴etalon AG基于IDS3010(做到這一點(diǎn))。廣州傳感器激光干涉儀
LineCAL可實(shí)現(xiàn)亞微米精度的空間補(bǔ)償。粗糙度激光干涉儀位移
激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床:雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度,而且還能通過(guò)RS232接口,自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件,可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析(FFT),滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性(低速爬行)分析等。粗糙度激光干涉儀位移
上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司公司是一家專門從事光譜共焦傳感器,高精度3D測(cè)量系統(tǒng),涂層厚度檢測(cè)傳感器,同軸激光位移傳感器產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售,是一家貿(mào)易型企業(yè),公司成立于2011-11-11,位于上海市奉賢區(qū)泰葉路159弄33號(hào)。多年來(lái)為國(guó)內(nèi)各行業(yè)用戶提供各種產(chǎn)品支持。岱珂機(jī)電目前推出了光譜共焦傳感器,高精度3D測(cè)量系統(tǒng),涂層厚度檢測(cè)傳感器,同軸激光位移傳感器等多款產(chǎn)品,已經(jīng)和行業(yè)內(nèi)多家企業(yè)建立合作伙伴關(guān)系,目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。我們堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新,把握市場(chǎng)關(guān)鍵需求,以重心技術(shù)能力,助力儀器儀表發(fā)展。上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷緊跟光譜共焦傳感器,高精度3D測(cè)量系統(tǒng),涂層厚度檢測(cè)傳感器,同軸激光位移傳感器行業(yè)發(fā)展趨勢(shì),研發(fā)與改進(jìn)新的產(chǎn)品,從而保證公司在新技術(shù)研發(fā)方面不斷提升,確保公司產(chǎn)品符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司注重以人為本、團(tuán)隊(duì)合作的企業(yè)文化,通過(guò)保證光譜共焦傳感器,高精度3D測(cè)量系統(tǒng),涂層厚度檢測(cè)傳感器,同軸激光位移傳感器產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、用戶至上、價(jià)格合理來(lái)服務(wù)客戶。建立一切以客戶需求為前提的工作目標(biāo),真誠(chéng)歡迎新老客戶前來(lái)洽談業(yè)務(wù)。