引力波測(cè)量干涉儀也可以用于引力波探測(cè)(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測(cè)器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國(guó)科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實(shí)驗(yàn)室建造初步的試驗(yàn)系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測(cè)器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)宣稱(chēng)shou ci直接測(cè)量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認(rèn)為是兩路光線(xiàn)的干涉儀，而另外一類(lèi)引力波探測(cè)實(shí)驗(yàn)， 脈沖星測(cè)時(shí)陣列則可認(rèn)為是多路光線(xiàn)干涉儀（Hellings和Downs,1983）。能夠測(cè)量液體的表面運(yùn)動(dòng)，開(kāi)啟了在各科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)獨(dú)特應(yīng)用的可能性。3D激光干涉儀位移測(cè)量
高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線(xiàn)寬為0.25μm，并正向0.18μm過(guò)渡，2009年的預(yù)測(cè)線(xiàn)寬是0.07μm。如果定位要求占線(xiàn)寬的1/3，那么就要求10nm量級(jí)的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測(cè)量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級(jí)。
高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開(kāi)發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場(chǎng)的需求。例如惠普公司的干涉儀市場(chǎng)大部分被英國(guó)Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。 北京激光干涉儀位移軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉(zhuǎn)（RPM）旋轉(zhuǎn)。
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線(xiàn)路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周?chē)髿馓幱诜€(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。
檢驗(yàn)周期規(guī)定
A.控制盤(pán)和配電盤(pán)儀表的定期檢驗(yàn)應(yīng)與該儀表所連接的主要設(shè)備的大修日期一致，不應(yīng)延誤。但主要設(shè)備主要線(xiàn)路的儀表應(yīng)每年檢驗(yàn)一次，其它盤(pán)的儀表每四年至少檢驗(yàn)一次；
B.對(duì)運(yùn)行中設(shè)備的控制盤(pán)儀表的指示發(fā)生疑問(wèn)時(shí)，可用標(biāo)準(zhǔn)儀表在其工作點(diǎn)上用比較法進(jìn)行核對(duì)；
C.可攜式儀表(包括臺(tái)表)的檢驗(yàn)，每年至少一次，常用的儀表每半年至少一次。經(jīng)兩次以上檢驗(yàn)，證明質(zhì)量好的儀表，可以延長(zhǎng)檢驗(yàn)期一倍。D.萬(wàn)用電表、鉗形表每四年至少檢驗(yàn)一次。兆歐表和接地電阻測(cè)定器每二年至少檢驗(yàn)一次，但用于高壓電路使用的鉗形表和作吸收比用的兆歐表每年至少檢驗(yàn)一次。 在測(cè)量軟件WAVE的FFT圖中，實(shí)時(shí)顯示位移數(shù)據(jù)，可快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行頻譜分析，以識(shí)別共振頻率。
在物理學(xué)家關(guān)于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關(guān)于所謂空虛空間中的電磁過(guò)程的理論之間，有著深刻的形式上的分歧。這就是，我們認(rèn)為一個(gè)物體的狀態(tài)是由數(shù)目很大但還是有限個(gè)數(shù)的原子和電子的坐標(biāo)和速度來(lái)完全確定的；與此相反，為了確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài)，我們就需要用連續(xù)的空間函數(shù)，因此，為了完全確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài)，就不能認(rèn)為有限個(gè)數(shù)的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論，對(duì)于一切純電磁現(xiàn)象因而也對(duì)于光來(lái)說(shuō)，應(yīng)當(dāng)把能量看作是連續(xù)的空間函數(shù)，而按照物理學(xué)家的看法，一個(gè)有重客體的能量，則應(yīng)當(dāng)用其中原子和電子所帶能量的總和來(lái)表示。一個(gè)有重物體的能量不可能分成任意多個(gè)、任意小的部分，而按照光的麥克斯韋理論（或者更一般地說(shuō)，按照任何波動(dòng)理論），從一個(gè)點(diǎn)光源發(fā)射出來(lái)的光束的能量，則是在一個(gè)不斷增大的體積中連續(xù)地分布的。雖然加速度計(jì)可用于測(cè)量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。北京激光干涉儀位移
熱力或磁力應(yīng)變作為ΔL與初始長(zhǎng)度（Lo）之間的比率。3D激光干涉儀位移測(cè)量
外觀檢查規(guī)定
1 表盤(pán)上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號(hào)：A.儀表名稱(chēng)或被測(cè)之量的標(biāo)志符號(hào)；B.型號(hào)；C.系別符號(hào)；D.準(zhǔn)確度等級(jí)；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；G.制造年月或出廠編號(hào)；H.電流種類(lèi)或相數(shù)，三相儀表中測(cè)量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線(xiàn)值(或符號(hào))和分流器額定電壓降值(對(duì)低量限電壓表的要求)。
2 儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；
3 從外表看，零部件完整，無(wú)松動(dòng)，無(wú)裂縫，無(wú)明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無(wú)撞擊聲；
4 向左右兩方向旋動(dòng)機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，左右對(duì)稱(chēng)； 3D激光干涉儀位移測(cè)量
上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司成立于2011-11-11，是一家專(zhuān)注于光譜共焦傳感器，高精度3D測(cè)量系統(tǒng)，涂層厚度檢測(cè)傳感器，同軸激光位移傳感器的****，公司位于上海市奉賢區(qū)泰葉路159弄33號(hào)。公司經(jīng)常與行業(yè)內(nèi)技術(shù)**交流學(xué)習(xí)，研發(fā)出更好的產(chǎn)品給用戶(hù)使用。公司主要經(jīng)營(yíng)光譜共焦傳感器，高精度3D測(cè)量系統(tǒng)，涂層厚度檢測(cè)傳感器，同軸激光位移傳感器等產(chǎn)品，我們依托高素質(zhì)的技術(shù)人員和銷(xiāo)售隊(duì)伍，本著誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、理解客戶(hù)需求為經(jīng)營(yíng)原則，公司通過(guò)良好的信譽(yù)和周到的售前、售后服務(wù)，贏得用戶(hù)的信賴(lài)和支持。公司與行業(yè)上下游之間建立了長(zhǎng)久親密的合作關(guān)系，確保光譜共焦傳感器，高精度3D測(cè)量系統(tǒng)，涂層厚度檢測(cè)傳感器，同軸激光位移傳感器在技術(shù)上與行業(yè)內(nèi)保持同步。產(chǎn)品質(zhì)量按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn)，絕不因價(jià)格而放棄質(zhì)量和聲譽(yù)。上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司依托多年來(lái)完善的服務(wù)經(jīng)驗(yàn)、良好的服務(wù)隊(duì)伍、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和強(qiáng)大的合作伙伴，目前已經(jīng)得到儀器儀表行業(yè)內(nèi)客戶(hù)認(rèn)可和支持，并贏得長(zhǎng)期合作伙伴的信賴(lài)。