天津非接觸激光干涉儀

高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應的激光穩(wěn)頻精度應該是10的-9次方數(shù)量級。

高速度。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達到了1m/sec。 Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機械指向穩(wěn)定性的鏡架。天津非接觸激光干涉儀

5 指針不應彎曲，與標度盤表面間的距離要適當。對裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應不大于(0.01L+1)MM。指針與標度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標度尺邊緣的間隙應不超過(0.01L+0.8)MM。其中L 是標度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應蓋住標度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6 檢查有無封印，外殼密封是否良好。

三相儀表應在對稱電壓和平衡負載的條件下檢驗。三相系統(tǒng)中每一個線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應量的平均值之差均不應大于1%。各個相電流與對應相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 粗糙度激光干涉儀金線檢測皮 米 精 度 位 移 傳 感 器。

互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統(tǒng)中用于電壓和功率的測量等。電流互感器可用在交換電流的測量、交換電度的測量和電力拖動線路中的保護。

電壓互感器

按用途分

測量用電壓互感器或電壓互感器的測量繞組：在正常電壓范圍內(nèi)，向測量、計量裝置提供電網(wǎng)電壓信息；保護用電壓互感器或電壓互感器的保護繞組：在電網(wǎng)故障狀態(tài)下，向繼電保護等裝置提供電網(wǎng)故障電壓信息。

按絕緣介質(zhì)分

干式電壓互感器：由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣，多用在及以下低電壓等級；澆注絕緣電壓互感器：由環(huán)氧樹脂或其他樹脂混合材料澆注成型，多用在及以下電壓等級；油浸式電壓互感器：由絕緣紙和絕緣油作為絕緣，是我國較為常見的結(jié)構(gòu)型式，常用于及以下電壓等級；氣體絕緣電壓互感器：由氣體作主絕緣，多用在較高電壓等級。通常只提供測量用的低電壓互感器是干式，高壓或超高壓密封式氣體絕緣(如六氟化硫)互感器也是干式。澆注式適用于35kV及以下的電壓互感器，35kV以上的產(chǎn)品均為油浸式。

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。定位器的觸發(fā)運動控制。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer以太網(wǎng)Web界面（工業(yè)4.0）。模切尺寸激光干涉儀金線檢測

軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉(zhuǎn)（RPM）旋轉(zhuǎn)。天津非接觸激光干涉儀

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床:雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。數(shù)控機床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。天津非接觸激光干涉儀