山東激光干涉儀形貌測(cè)量

在物理學(xué)家關(guān)于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關(guān)于所謂空虛空間中的電磁過(guò)程的理論之間，有著深刻的形式上的分歧。這就是，我們認(rèn)為一個(gè)物體的狀態(tài)是由數(shù)目很大但還是有限個(gè)數(shù)的原子和電子的坐標(biāo)和速度來(lái)完全確定的；與此相反，為了確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài)，我們就需要用連續(xù)的空間函數(shù)，因此，為了完全確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài)，就不能認(rèn)為有限個(gè)數(shù)的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論，對(duì)于一切純電磁現(xiàn)象因而也對(duì)于光來(lái)說(shuō)，應(yīng)當(dāng)把能量看作是連續(xù)的空間函數(shù)，而按照物理學(xué)家的看法，一個(gè)有重客體的能量，則應(yīng)當(dāng)用其中原子和電子所帶能量的總和來(lái)表示。一個(gè)有重物體的能量不可能分成任意多個(gè)、任意小的部分，而按照光的麥克斯韋理論（或者更一般地說(shuō)，按照任何波動(dòng)理論），從一個(gè)點(diǎn)光源發(fā)射出來(lái)的光束的能量，則是在一個(gè)不斷增大的體積中連續(xù)地分布的。緊湊，適用于設(shè)備集成。山東激光干涉儀形貌測(cè)量

不同變比電流互感器。這種型號(hào)的電流互感器具有同一個(gè)鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個(gè)匝數(shù)不同、各自獨(dú)自的繞組，以滿足同一負(fù)荷電流情況下不同變比、不同準(zhǔn)確度等級(jí)的需要，例如在同一負(fù)荷情況下，為了保證電能計(jì)量準(zhǔn)確，要求變比較小一些（以滿足負(fù)荷電流在一次額定值的2/3左右），準(zhǔn)確度等級(jí)高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級(jí)）；而用電設(shè)備的繼電保護(hù)，考慮到故障電流的保護(hù)系數(shù)較大，則要求變比較大一些，準(zhǔn)確度等級(jí)可以稍低一點(diǎn)（如2K1.2K2為300/5.1級(jí)）。上海電子激光干涉儀在三個(gè)直徑為400、315和200μm的金屬圓筒上進(jìn)行輪廓測(cè)量。

利用不同構(gòu)形的彈性敏感元件可測(cè)量各種物體的應(yīng)力、應(yīng)變、壓力、扭矩、加速度等機(jī)械量。半導(dǎo)體應(yīng)變片與電阻應(yīng)變片(見(jiàn)電阻應(yīng)變片相比，具有靈敏系數(shù)高（約高 50～100倍）、機(jī)械滯后小、體積小、耗電少等優(yōu)點(diǎn)。P型和N型硅的靈敏系數(shù)符號(hào)相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測(cè)量同一應(yīng)力。早期的半導(dǎo)體應(yīng)變片采用機(jī)械加工、化學(xué)腐蝕等方法制成，稱為體型半導(dǎo)體應(yīng)變片。它的缺點(diǎn)是電阻和靈敏系數(shù)的溫度系數(shù)大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應(yīng)用和發(fā)展。自70年代以來(lái)，隨著半導(dǎo)體集成電路工藝的迅速發(fā)展，相繼出現(xiàn)擴(kuò)散型、外延型和薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片，上述缺點(diǎn)得到一定克服。半導(dǎo)體應(yīng)變片主要應(yīng)用于飛機(jī)、導(dǎo)彈、車輛、船舶、機(jī)床、橋梁等各種設(shè)備的機(jī)械量測(cè)量。

外觀檢查規(guī)定

1 表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號(hào)：A.儀表名稱或被測(cè)之量的標(biāo)志符號(hào)；B.型號(hào)；C.系別符號(hào)；D.準(zhǔn)確度等級(jí)；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；G.制造年月或出廠編號(hào)；H.電流種類或相數(shù)，三相儀表中測(cè)量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線值(或符號(hào))和分流器額定電壓降值(對(duì)低量限電壓表的要求)。

2 儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；

3 從外表看，零部件完整，無(wú)松動(dòng)，無(wú)裂縫，無(wú)明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無(wú)撞擊聲；

4 向左右兩方向旋動(dòng)機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，左右對(duì)稱； 低電子噪聲和良好的光學(xué)穩(wěn)定性。

擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片

這種應(yīng)變片是將 P型雜質(zhì)擴(kuò)散到一個(gè)高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導(dǎo)電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定性好，機(jī)械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導(dǎo)體應(yīng)變片小一個(gè)數(shù)量級(jí)。缺點(diǎn)是由于存在P-N結(jié)，當(dāng)溫度升高時(shí)，絕緣電阻大為下降。半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導(dǎo)體單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種敏感元件。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴(kuò)散法制成的。 IDS與各種目標(biāo)和目標(biāo)材料兼容。上海電子激光干涉儀

在環(huán)境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動(dòng)器的任何振蕩。山東激光干涉儀形貌測(cè)量

(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷，非接觸測(cè)頭還沒(méi)有發(fā)展成熟，我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進(jìn)展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。

(5)新器件，新材料。過(guò)去，科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達(dá)10的14次方，目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過(guò)光頻，干涉儀也就沒(méi)有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高，對(duì)于通訊也是很大的突破。 山東激光干涉儀形貌測(cè)量