張家港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維保

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)猓涞侥车驼婵斩群?，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。工業(yè)烘箱品牌生產(chǎn)廠家。張家港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維保

九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對(duì)濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見(jiàn)附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。送風(fēng)系統(tǒng)方式采用電機(jī)帶動(dòng)皮帶使風(fēng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)&加長(zhǎng)軸散熱系統(tǒng)。電機(jī)功率為1/2HP加熱系統(tǒng)溫控器YUDIAN自動(dòng)數(shù)顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側(cè)安裝加熱管、加熱功率25KW?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。鎮(zhèn)江半導(dǎo)體工業(yè)烤箱高溫隧道固化爐高溫鼓風(fēng)干燥箱。

600度高溫回火爐技術(shù)規(guī)格書一、設(shè)備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設(shè)備型號(hào)：HOTTSP-HT600三、設(shè)備型號(hào)定義：HOTTSP-昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司簡(jiǎn)稱；600—整機(jī)最高溫度600度；HT—H表示高溫設(shè)備；T表示非標(biāo)設(shè)備。四、設(shè)備用途：五金件、電子零件、精密零部件產(chǎn)品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開門下料

十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開關(guān)，送風(fēng)開關(guān)、溫度控制器、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號(hào)。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。蘇州自動(dòng)化隧道爐（標(biāo)準(zhǔn)）。

3.1.3骨架:在室體的長(zhǎng)度方向上採(cǎi)用矩型方管作為結(jié)構(gòu)框架,在長(zhǎng)度方向上間隔的安裝焊接柱子，牆板和柱子用U形槽連接，在室體頂部採(cǎi)用矩型方管作為加固梁連接寬度方向倆邊的柱子，從而保證整套室體的結(jié)構(gòu)性能。3.1.4送排風(fēng)風(fēng)道：在烘烤爐體二側(cè)面設(shè)有送風(fēng)風(fēng)道，送風(fēng)風(fēng)道採(cǎi)用高品質(zhì)耐溫鍍鋅板製作，在烘烤爐體上側(cè)部設(shè)有排風(fēng)風(fēng)道，在排風(fēng)風(fēng)道上設(shè)有調(diào)節(jié)閥，用來(lái)調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度的均勻性。3.2迴圈風(fēng)機(jī)系統(tǒng)：主要由風(fēng)機(jī)、高品質(zhì)耐溫鍍鋅板、型材框架等組成。由設(shè)計(jì)依據(jù)，本設(shè)計(jì)砂芯烘烤爐配置3組加熱送風(fēng)系統(tǒng)。配置3臺(tái)離心式高溫風(fēng)機(jī)。且迴圈風(fēng)管採(cǎi)用高品質(zhì)耐溫鍍鋅板製作，進(jìn)風(fēng)口處安裝風(fēng)量調(diào)節(jié)板。3.3加熱系統(tǒng)：配3套加熱系統(tǒng)，使用燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱方式，升溫速度快，成本低。從而保證砂芯烘烤爐溫度的需要。高精密隧道爐方案說(shuō)明。太倉(cāng)自動(dòng)化工業(yè)烤箱

網(wǎng)鏈?zhǔn)竭€原氣氛隧道爐。張家港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維保

自公司年成立以來(lái)，HOTTSP一直致力于為客戶提工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐解決方案，專業(yè)從事工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐生產(chǎn)、研發(fā)、銷售和服務(wù)。經(jīng)過(guò)多年的努力，我們逐漸獲取到機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)內(nèi)更多客戶的認(rèn)可。機(jī)械及行業(yè)設(shè)備是動(dòng)密集型產(chǎn)業(yè)，除了需要科技創(chuàng)新人才和管理人才以外，還需要高級(jí)技工工人等。HOTTSP擁有多名技術(shù)服務(wù)型人才，幫助客戶提供售前、售后技術(shù)支持。更豐富的產(chǎn)品工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐及更完善的服務(wù)為客戶創(chuàng)造價(jià)值；我們秉著持續(xù)改進(jìn)產(chǎn)品為宗旨，不知疲倦的精神服務(wù)于廣大客戶。HOTTSP在長(zhǎng)期發(fā)展過(guò)程中，憑借雄厚的實(shí)力和深入人心的服務(wù)理念，產(chǎn)品贏得了客戶認(rèn)同和信賴。堅(jiān)持不斷創(chuàng)新，不斷進(jìn)步，不斷提升服務(wù)，持續(xù)追求每一個(gè)用戶的滿意度。張家港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維保

昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，公司位于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號(hào)，成立于2014-08-20。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則，為國(guó)內(nèi)工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。公司主要經(jīng)營(yíng)工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等產(chǎn)品，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，均通過(guò)機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)檢測(cè)，嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國(guó)30多個(gè)省、市、自治區(qū)。我們以客戶的需求為基礎(chǔ)，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)和研發(fā)上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了HOTTSP產(chǎn)品。我們從用戶角度，對(duì)每一款產(chǎn)品進(jìn)行多方面分析，對(duì)每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計(jì)、精心制作和嚴(yán)格檢驗(yàn)。昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司嚴(yán)格規(guī)范工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐產(chǎn)品管理流程，確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，分工明細(xì)，服務(wù)貼心，為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。