HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。無(wú)氧化烤箱QMO-2DSF(整機(jī)304）。連云港恒溫工業(yè)烤箱價(jià)格
首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。相城區(qū)熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱市場(chǎng)精密送風(fēng)循環(huán)烘干爐。
八.品管:1.重要五金配件.2.電控元件.3.生產(chǎn)物料經(jīng)嚴(yán)格檢驗(yàn)后入倉(cāng),投入使用.4.設(shè)備制造過(guò)程中,由工程師現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)制,質(zhì)量有保障.九.環(huán)保:1.采用質(zhì)量環(huán)保保溫制品.環(huán)保,無(wú)污染.2.噪音小.3.涂料中不含鉛等有害成分成份.非常感謝您的詢價(jià)，以上是我司規(guī)劃設(shè)備的資料。希望早日得到您的確認(rèn)，如有任何問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系我們。
一、設(shè)備簡(jiǎn)介：1.設(shè)備用途：本設(shè)備為冰水冷風(fēng)急冷段生產(chǎn)線，用于產(chǎn)品制程后的恒溫處理。2.使得產(chǎn)品具有均勻一致的數(shù)據(jù)要求.3.設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試驗(yàn)收過(guò)程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時(shí)間做出品質(zhì)的性能.總功率：3P380V12KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進(jìn)料高度：120MM內(nèi)高度：320MM循環(huán)風(fēng)機(jī)：1臺(tái)1/2HP（手動(dòng)變頻調(diào)節(jié)）二、設(shè)備詳細(xì)需求：1.產(chǎn)品尺寸：用于將高密度聚乙烯片材，2米長(zhǎng)度，20秒，可以恒溫設(shè)定，使用冰水機(jī)和加熱雙向調(diào)節(jié)。
二.溫度范圍:1.最高溫度：60℃2.使用溫度：50℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測(cè)量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))配置熱風(fēng)循環(huán)（手動(dòng)變頻調(diào)節(jié)）四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時(shí)將爐內(nèi)廢氣排出爐外，可調(diào)節(jié)大小。五.加熱系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨(dú)系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無(wú)熔絲電源開關(guān)，鐵線槽堅(jiān)固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護(hù)系統(tǒng):1.附有施耐德無(wú)熔絲保護(hù)開關(guān).2.超溫控制超過(guò)設(shè)定最大值,自動(dòng)斷電.3.控制器超溫控制接點(diǎn)+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險(xiǎn)絲.網(wǎng)鏈?zhǔn)竭€原氣氛隧道爐。
十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關(guān)，送風(fēng)開關(guān)、溫度控制器、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號(hào)?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。步入式精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。揚(yáng)州無(wú)塵工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家
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15米連續(xù)式烘烤爐規(guī)格書（燃?xì)饧訜幔┮?guī)範(fàn)書昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司一、設(shè)備簡(jiǎn)介：1.設(shè)備用途：本設(shè)備為連續(xù)式表面烘干生產(chǎn)線，用于產(chǎn)品制程后的烘干和輸送。2.干燥后的產(chǎn)品具有均勻一致的數(shù)據(jù)要求.3.設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試驗(yàn)收過(guò)程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時(shí)間做出***的性能.總功率：3P380V5KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進(jìn)料高度：400MM爐內(nèi)高度：450MM加熱功率：5萬(wàn)大卡循環(huán)風(fēng)機(jī)：1臺(tái)風(fēng)量4000CMH，壓力1000Pa耗能：1.燃燒機(jī)用燃?xì)獗容^大6立方每小時(shí)，保溫燃?xì)庠?0~50%。約1.8立方到3立方每小時(shí)，試實(shí)際工況而定。2.設(shè)備電力功耗：比較大5KW/H.連云港恒溫工業(yè)烤箱價(jià)格
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡，一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地，繪畫新藍(lán)圖，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的信譽(yù)，信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易，失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念，市場(chǎng)是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團(tuán)結(jié)一致，共同進(jìn)退，**協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來(lái)昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái)，即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī)，也不足以驕傲，過(guò)去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點(diǎn)燃新的希望，放飛新的夢(mèng)想！