陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附， 同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，普遍應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用只限用于平坦，無孔表面的工作平臺(tái)。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域，這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸。自動(dòng)化移載、物件吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái)，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其它加工程序。微孔陶瓷吸盤的熱容量小，它本身不蓄熱，可以直接散熱。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
在天然物質(zhì)和人造物質(zhì)中，多孔體特別多，比如：水成巖、水鋁英石、粘土、木材等建筑材料，無機(jī)和有機(jī)保溫材料，天然纖維等都是多孔體。工業(yè)材料中的催化劑、硅膠、活性炭等吸附劑，過濾劑，絕熱材料等都利用了多孔性質(zhì)。因此，我們認(rèn)為，掌握多孔材料的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)是非常重要的。為了正確地分析出材料孔容孔徑，就需要對(duì)材料孔結(jié)構(gòu)有著清楚的認(rèn)識(shí)，選擇正確的預(yù)處理方式（溫度、氛圍、真空度等）及合適的分析模型，進(jìn)而得到準(zhǔn)確科學(xué)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。多孔陶瓷材料由于其特殊的結(jié)構(gòu)，使其具有高比表面積，高孔隙率，高吸附性等諸多優(yōu)異的理化性能，因而在半導(dǎo)體、化工、環(huán)保、功能材料等領(lǐng)域均有普遍應(yīng)用，氣體吸附法是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)特性重要的方法之一。廈門多孔陶瓷吸盤廠商陶瓷吸盤的優(yōu)點(diǎn)：防止吸收軌跡。
良好的陶瓷真空吸盤需要具備以下幾點(diǎn)：①潔凈度：避免硅片在加工的過程中被Na+、Al+等雜質(zhì)污染；②通透性強(qiáng)：均勻透氣和透水，保證了硅片的均勻受力和牢固吸附，在磨削過程中不滑動(dòng)；③結(jié)構(gòu)致密均勻：不易吸附硅粉磨屑，吸盤易于清洗；④強(qiáng)度高：在磨削時(shí)無形變，保證硅片在磨削時(shí)各點(diǎn)受力均勻，不易產(chǎn)生崩邊、碎片等現(xiàn)象；⑤易于修整：修整時(shí)不會(huì)出現(xiàn)破裂、碎塊、脫粒等現(xiàn)象；⑥絕緣性高：絕緣性材質(zhì)，消除靜電。陶瓷吸盤的耐用性也是很重要的考慮因素。
多孔陶瓷真空吸盤的孔徑可以制作在小于1微米大到幾百個(gè)微米的范圍內(nèi)，通過微小的氣孔把空氣吸出，便加工物緊貼在陶瓷面上，能夠減少吸附面對(duì)高精度材料的應(yīng)力磨損，其穩(wěn)定均勻的吸附力適合固定很薄的加工物，如晶圓片、玻璃和柔性屏等；傳統(tǒng)的孔陶瓷真空吸盤不能根據(jù)吸附物的直徑大小進(jìn)行更換合適的孔陶瓷真空吸盤，吸附不夠穩(wěn)定，吸附物容易掉落損壞，增加生產(chǎn)成本，因此，本實(shí)用新型提出一種多孔陶瓷真空吸盤以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。多孔陶瓷真空吸盤通過安裝機(jī)構(gòu)，安裝機(jī)構(gòu)具有更換陶瓷吸盤的功能，使用者可以根據(jù)吸附物的直徑大小進(jìn)行更換合適的陶瓷吸盤，提高了吸附的穩(wěn)定性，防止吸附物掉落損壞，降低了生產(chǎn)成本。陶瓷吸盤具有優(yōu)異的材料性能，電阻值可以達(dá)到105~109Ω/sq。
在進(jìn)行解鍵合工藝時(shí)會(huì)用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導(dǎo)體晶圓，此項(xiàng)工藝作業(yè)時(shí)會(huì)將鍵合粘結(jié)劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上。殘留的有機(jī)粘結(jié)劑雜質(zhì)在溫度120℃時(shí)處于完全液態(tài)，易被吸附進(jìn)多孔吸盤的孔洞內(nèi)，而其中無機(jī)物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層。有機(jī)粘結(jié)劑在加熱狀態(tài)下液化，受真空吸附力影響會(huì)流動(dòng)到多孔吸盤的孔洞內(nèi)，金屬顆粒會(huì)在此加熱狀態(tài)下進(jìn)行一定程度延展拉伸式的合金化，合金化金屬結(jié)合力會(huì)增強(qiáng)，從而造成有機(jī)粘結(jié)劑在多孔吸盤的孔洞內(nèi)和表面存在，合金化金屬覆蓋在有機(jī)粘結(jié)劑表面并將有機(jī)粘結(jié)劑進(jìn)行包裹。如果陶瓷吸盤出現(xiàn)老化時(shí)應(yīng)該及時(shí)更換。西安碳化硅多孔陶瓷吸盤現(xiàn)價(jià)
陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
目前，陶瓷吸盤已走進(jìn)了各個(gè)工廠，成為了龍門銑床，磨床不可或缺的一部分，所以在選型上也下了不少功夫。那么正常使用時(shí)又要注意哪些事項(xiàng)呢？陶瓷吸盤出廠后，一般有60小時(shí)左右的磨合期，這是制造工廠根據(jù)陶瓷吸盤使用初期的技術(shù)特點(diǎn)而劃定的。磨合期主要是保證陶瓷吸盤正常運(yùn)轉(zhuǎn)，降低故障率，延長使用壽命的重要環(huán)節(jié)。但由于部分用戶因缺乏這方面的常識(shí)或是工期緊，在機(jī)器的磨合期內(nèi)就超長時(shí)間，超長負(fù)荷的使用，忽視了新機(jī)器的磨合期的特殊技術(shù)要求，導(dǎo)致機(jī)器早期故障頻繁發(fā)生。對(duì)陶瓷吸盤的磨合期的使用與保養(yǎng)要充分的重視。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
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