在電子特氣系統(tǒng)工程中,保壓測試是保障管道安全運(yùn)行的重要環(huán)節(jié)。電子特氣多為腐蝕性、毒性或易燃易爆氣體,管道一旦泄漏,不僅會(huì)污染生產(chǎn)環(huán)境,還可能引發(fā)安全事故。保壓測試需在管道安裝完成后,先進(jìn)行氮?dú)庵脫Q去除空氣,再充入高純氮?dú)庵猎O(shè)計(jì)壓力(通常為 0.6-1.0MPa),關(guān)閉閥門后持續(xù)監(jiān)測 24 小時(shí)。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),壓力降需≤0.5% 初始?jí)毫?,且每小時(shí)壓力波動(dòng)不超過 0.01MPa。測試過程中,需重點(diǎn)關(guān)注閥門接口、焊接點(diǎn)等易泄漏部位,結(jié)合壓力曲線判斷是否存在微漏。對于電子特氣系統(tǒng)而言,保壓測試的嚴(yán)格執(zhí)行能有效避免因泄漏導(dǎo)致的特氣純度下降,確保半導(dǎo)體芯片等精密產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量,是第三方檢測機(jī)構(gòu)對電子特氣系統(tǒng)安全評級(jí)的重要依據(jù)。大宗供氣系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測,采樣前吹掃 1 小時(shí),確保數(shù)據(jù)反映真實(shí)污染。大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氧含量(ppb級(jí))
大宗供氣系統(tǒng)為工廠多條生產(chǎn)線集中供氣,管道壓力穩(wěn)定性直接影響生產(chǎn)連續(xù)性,保壓測試是驗(yàn)證其穩(wěn)定性的重要手段。測試時(shí),管道充入氮?dú)庵凉ぷ鲏毫Γㄍǔ?0.8MPa),關(guān)閉總閥后監(jiān)測 12 小時(shí),壓力降需≤0.1MPa。若壓力降超標(biāo),可能是管道泄漏或閥門內(nèi)漏 —— 例如在汽車涂裝車間,壓縮空氣管道泄漏會(huì)導(dǎo)致噴槍壓力不足,影響漆膜厚度;在啤酒廠,CO?管道泄漏會(huì)導(dǎo)致啤酒碳酸化不足,影響口感。保壓測試需覆蓋整個(gè)供氣網(wǎng)絡(luò),包括分支管道、閥門、過濾器等,檢測時(shí)用肥皂水涂抹可疑部位輔助定位泄漏點(diǎn)。通過保壓測試,可確保大宗供氣系統(tǒng)壓力穩(wěn)定,避免因壓力波動(dòng)導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷,這是第三方檢測機(jī)構(gòu)對系統(tǒng)可靠性的重要評估項(xiàng)。深圳高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測0.1微米顆粒度檢測實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的氦檢漏,需在儀器連接端重點(diǎn)檢測,防止微量泄漏影響實(shí)驗(yàn)。
高純氣體系統(tǒng)工程對管道密封性的要求堪稱苛刻,哪怕微小泄漏都可能引入雜質(zhì),破壞氣體純度。氦檢漏作為高精度泄漏檢測手段,在該系統(tǒng)中不可或缺。檢測時(shí),先將高純氣體管道抽真空至≤5×10?3Pa,再向管道內(nèi)側(cè)充入 5% 氦氣與 95% 氮?dú)獾幕旌蠚怏w,外側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀探頭掃描。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),泄漏率需控制在≤1×10??Pa?m3/s,這一精度遠(yuǎn)高于肥皂水檢漏等傳統(tǒng)方法。對于輸送超高純氮?dú)猓兌?99.9999%)或電子級(jí)氨氣的管道,氦檢漏能準(zhǔn)確定位焊接缺陷、閥門密封不良等問題,避免微量泄漏導(dǎo)致的氣體純度下降 —— 要知道,電子級(jí)氣體中雜質(zhì)含量需控制在 ppb 級(jí),任何泄漏引入的空氣(含氧氣、水分)都會(huì)直接影響產(chǎn)品良率,因此氦檢漏是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “必過項(xiàng)”。
大宗供氣系統(tǒng)中的氣體(如壓縮空氣、氮?dú)猓┤艉郑瑫?huì)導(dǎo)致管道腐蝕、設(shè)備故障。例如在氣動(dòng)控制系統(tǒng)中,水分會(huì)使氣缸內(nèi)壁銹蝕,縮短使用壽命;在食品包裝中,氮?dú)庵械乃謺?huì)導(dǎo)致包裝內(nèi)結(jié)露,影響食品保質(zhì)期。ppb 級(jí)水分檢測需用露點(diǎn)儀,在管道出口處檢測,溫度需≤-40℃(對應(yīng)水分≤1070ppb),根據(jù)行業(yè)不同可提高標(biāo)準(zhǔn)(如電子行業(yè)需≤-60℃)。大宗供氣系統(tǒng)需安裝干燥機(jī)(如吸附式干燥機(jī)),出口溫度需穩(wěn)定,而水分檢測能驗(yàn)證干燥機(jī)性能 —— 若檢測值超標(biāo),可能是干燥劑失效或再生系統(tǒng)故障。通過嚴(yán)格的水分檢測,可確保氣體干燥度,減少設(shè)備維護(hù)成本,延長系統(tǒng)壽命。電子特氣系統(tǒng)工程保壓測試后,需測氧含量和水分,確保特氣不受污染。
高純氣體系統(tǒng)工程中,顆粒是浮游菌的載體,因此需聯(lián)動(dòng)檢測。例如 0.1 微米以上的顆粒可吸附細(xì)菌,隨氣體進(jìn)入生產(chǎn)環(huán)境,導(dǎo)致產(chǎn)品污染。檢測時(shí),顆粒度合格(0.1μm 及以上顆?!?000 個(gè) /m3)后,測浮游菌(≤1CFU/m3);若顆粒度超標(biāo),需先凈化再測浮游菌。高純氣體系統(tǒng)需安裝 “高效過濾 + 除菌過濾” 組合裝置,且過濾器需定期完整性測試,而關(guān)聯(lián)檢測能驗(yàn)證過濾效果 —— 若顆粒度合格但浮游菌超標(biāo),可能是除菌過濾器失效。這種方法能多方面保障氣體潔凈度,符合生物制藥、微電子等行業(yè)的嚴(yán)苛要求。大宗供氣系統(tǒng)保壓測試覆蓋全管道,壓力 0.8MPa,12 小時(shí)壓降≤0.1MPa,減少氣體浪費(fèi)。清遠(yuǎn)工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測水分(ppb級(jí))
高純氣體管道的保壓測試,需充高純氮?dú)?,避免管道?nèi)壁被污染。大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氧含量(ppb級(jí))
工業(yè)集中供氣系統(tǒng)為多條生產(chǎn)線集中輸送氣體,管道內(nèi)的水分會(huì)引發(fā)管道腐蝕、氣體純度下降等問題,尤其對電子、化工行業(yè)影響明顯。水分(ppb 級(jí))檢測需使用電解式水分儀,在管道運(yùn)行狀態(tài)下實(shí)時(shí)監(jiān)測,檢測范圍通常為 10-1000ppb。檢測前需用干燥氮?dú)猓ㄋ帧?ppb)吹掃儀器管路,消除殘留水分干擾。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的管道若未徹底脫脂、脫水,或閥門密封圈老化,會(huì)導(dǎo)致水分滲入 —— 例如在焊接保護(hù)氣系統(tǒng)中,水分超過 50ppb 會(huì)導(dǎo)致焊縫出現(xiàn)氣孔;在化纖生產(chǎn)中,水分會(huì)使聚合反應(yīng)不穩(wěn)定。通過 ppb 級(jí)水分檢測,可準(zhǔn)確把控管道內(nèi)的水分含量,當(dāng)檢測值超過設(shè)計(jì)限值(如電子行業(yè)要求≤30ppb)時(shí),需啟動(dòng)干燥裝置或更換吸附劑,確保氣體質(zhì)量穩(wěn)定。大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氧含量(ppb級(jí))