強大的輪廓儀光電一體軟件美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換光機電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,結(jié)果實時更新縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理自主設(shè)定測量閾值,三維處理自動標(biāo)注測量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀個性化軟件應(yīng)用支持可進行軟件在線升級和遠程支持服務(wù)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BDMedicalInstrument)光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。山東輪廓儀供應(yīng)商
輪廓儀產(chǎn)品概述:NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。廣東輪廓儀美元報價共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡(luò))輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置:?XY最大行程650*650mm?支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸?XY光柵分辨率0.1um,定位精度5um,重復(fù)精度1um?XY平臺蕞大移動速度:200mm/s?Z軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進?隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振+大理石基石?配置真空臺面?配置Barcode掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息?主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H)mm如果想要了解更加詳細的產(chǎn)品信息,請聯(lián)系岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們的表面三位微觀形貌的此類方法非常豐富,通常分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。輪廓儀的優(yōu)點包括測量速度快、精度高、非接觸式測量、適用于各種形狀和材料的物體。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀輪廓測量應(yīng)用
每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。山東輪廓儀供應(yīng)商
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。山東輪廓儀供應(yīng)商