液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，上海醫(yī)療器械真空泵。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡�。液環(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運動使工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機相似。當(dāng)工作液體為水時，稱水環(huán)式真空泵，上海醫(yī)療器械真空泵，水環(huán)真空泵是一種粗真空泵，上海醫(yī)療器械真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670 Pa。由于真空泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。上海醫(yī)療器械真空泵

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規(guī)羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規(guī)羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa，所以常規(guī)羅茨泵必須帶前級泵預(yù)抽，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因為增加了熱量平衡裝置可以直接排大氣，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。上海醫(yī)療器械真空泵液環(huán)泵屬于粗真空泵，在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場。

簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非�，F(xiàn)實的。這就使規(guī)�；瘧�(yīng)用的真空機組得到的簡化。在某些中真空應(yīng)用中，需要進入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級機組。

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢，直通大氣;另一類是排氣阻力較大。

羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣，在0°位置時，下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時，該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強較高，引起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。上海醫(yī)療器械真空泵

真空泵抽速的抽氣量是彌補漏氣率的參數(shù)。上海醫(yī)療器械真空泵

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。結(jié)構(gòu)，泵總體結(jié)構(gòu)型式。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。上海醫(yī)療器械真空泵

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